無塵室凈化關(guān)鍵功效取決于的操縱商品(如硅集成ic等)所觸碰之空氣的潔凈度等級日及溫度濕度，使商品能在一個優(yōu)良之自然環(huán)境室內(nèi)空間中生產(chǎn)制造、生產(chǎn)制造，此室內(nèi)空間大家稱作潔凈凈化室。無塵室架構(gòu)一般可分成三種：不銹鋼板鋁方通、噴漆鐵鋁方通及其鋁合金型材，頂端及能用不銹鋼板、噴漆冷塑鋼扣板、抗靜電網(wǎng)格圖簾及亞克力有機(jī)玻璃板等原材料。周邊一般全是選用抗靜電網(wǎng)格圖簾或者有機(jī)玻璃板，排風(fēng)部用均選用FFU的清潔排風(fēng)模塊。潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。安徽手術(shù)室無塵室檢測范圍

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴(kuò)展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風(fēng)機(jī)應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護(hù)；當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護(hù)。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機(jī)、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。江蘇風(fēng)速無塵室檢測評估高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。

10.1.1潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB50030等的有關(guān)規(guī)定。10.1.4潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。

6.2.3潔凈廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室（區(qū))，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。6.2.4潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層，當(dāng)按其構(gòu)造特點(diǎn)和用途作為同一防火分區(qū)時，上下技術(shù)夾層的面積可不計人防火分區(qū)的建筑面積，但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施。6.2.5潔凈室的頂棚和墻板、技術(shù)豎井井壁的材質(zhì)選擇，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。指潔凈室(區(qū))在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已安裝完畢且功能完備的情況下,潔凈室(區(qū))內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的狀態(tài)。

E.5.1無恒溫恒濕要求的溫濕度檢測應(yīng)符合下列要求：1室內(nèi)空氣溫度和相對濕度測定之前，空調(diào)凈化系統(tǒng)應(yīng)已連續(xù)運(yùn)行至少8h。2溫度的檢測可采用玻璃溫度計、數(shù)字式溫濕度計；濕度的檢測可采用通風(fēng)式干濕球溫度計、數(shù)字式溫濕度計、電容式濕度檢測儀或露點(diǎn)傳感器等。根據(jù)溫濕度的波動范圍，應(yīng)選擇足夠精度的測試儀表。溫度檢測儀表的極小刻度不宜高于0.4℃，濕度檢測儀表的極小刻度不宜高于2%。測點(diǎn)為房間中間一點(diǎn)，應(yīng)在溫濕度讀數(shù)穩(wěn)定后記錄。測完室內(nèi)溫濕度后，還應(yīng)同時測出室外溫濕度。在運(yùn)作時，無塵室需要嚴(yán)格控制人員進(jìn)出，常規(guī)維護(hù)和定期檢查是確保無塵室持續(xù)潔凈的關(guān)鍵。江蘇半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測分析

潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊,用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。安徽手術(shù)室無塵室檢測范圍

1一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。安徽手術(shù)室無塵室檢測范圍