7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)確定。潔凈室（區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時(shí)，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。7.3.2潔凈廠房的潔凈室（區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室（區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較，采用運(yùn)行經(jīng)濟(jì)、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無生產(chǎn)人員。安徽潔凈工作臺無塵室檢測方法

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面，2當(dāng)采用踢腳時(shí)，踢腳不宜突出墻面。半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測第三方檢測機(jī)構(gòu)潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道,用于安裝輔助設(shè)備和公用動(dòng)力設(shè)施以及管線等。

6.3.1管道安裝前應(yīng)進(jìn)行以下準(zhǔn)備工作：1配管下料時(shí)應(yīng)采用“等離子切割”或**切割鋸、割管刀等工具，不應(yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。2管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無裂紋，應(yīng)去除毛刺。3在主管道上連接支管或部件時(shí)，宜用成品連接件。4普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。5氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進(jìn)行脫脂，脫脂應(yīng)在遠(yuǎn)離潔凈室的地點(diǎn)進(jìn)行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護(hù)工作。

16.4.22臭氧濃度的檢驗(yàn)應(yīng)符合下列規(guī)定：在風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時(shí)，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應(yīng)符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定外，還應(yīng)在系統(tǒng)和該裝置正常運(yùn)轉(zhuǎn)條件下，檢測室內(nèi)臭氧濃度。應(yīng)按附錄E檢驗(yàn)，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無明確要求時(shí)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《室內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應(yīng)符合下列規(guī)定：當(dāng)對新風(fēng)效果作細(xì)致確認(rèn)時(shí)，可在風(fēng)系統(tǒng)正常運(yùn)行、室內(nèi)處于動(dòng)態(tài)條件下，于每一班次結(jié)束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗(yàn)，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。當(dāng)設(shè)計(jì)無明確要求時(shí)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《空內(nèi)空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當(dāng)需要測定分子態(tài)污染物濃度時(shí)，可按附錄H的方法或按建設(shè)方與檢驗(yàn)方商定的方法檢測，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求或雙方商定的標(biāo)準(zhǔn)。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。

12.3.1防火卷簾安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1防火卷簾洞口上端至頂棚之間應(yīng)采用防火墻、不燃或難燃材料封堵。當(dāng)采用不燃或難燃材料封堵時(shí)，其耐火極限應(yīng)不低于防火卷簾的耐火極限。如防火卷簾采用水幕保護(hù)，其封堵材料亦應(yīng)采用水幕保護(hù)。2鋼質(zhì)卷簾的簾板應(yīng)平直，裝配成卷簾后，不應(yīng)存在孔洞或縫隙。3防火防煙卷簾的導(dǎo)軌內(nèi)設(shè)置的防煙裝置的材料應(yīng)為不燃或難燃材料。防煙裝置與簾面應(yīng)均勻緊密貼合，其貼合面長度不應(yīng)小于導(dǎo)軌長度的80%。4用于疏散通道上的防火卷簾，其兩側(cè)應(yīng)安裝由感煙、感溫火災(zāi)探測器組成的火災(zāi)探測器組合。12.3.2防火門和防火窗的安裝應(yīng)符合下列規(guī)定：1安裝在防火門和防火窗上的合頁、插銷等五金配件應(yīng)是經(jīng)相關(guān)檢測機(jī)構(gòu)檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品。2防火門的開啟角度不應(yīng)小于90°，并應(yīng)具有在發(fā)生火災(zāi)時(shí)能迅速關(guān)閉的功能。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。安徽潔凈工作臺無塵室檢測方法

無塵室在各個(gè)行業(yè)中都有應(yīng)用，尤其是需要對空氣粒子進(jìn)行控制的環(huán)境和行業(yè)。安徽潔凈工作臺無塵室檢測方法

15.5.1施工材料在運(yùn)輸、儲存和施工過程中，應(yīng)采取包裹、覆蓋、密閉、圍擋等措施，防止污染環(huán)境。15.5.2施工過程中應(yīng)做到當(dāng)天施工當(dāng)天清理現(xiàn)場，并有專人負(fù)責(zé)的制度。在完成了高效過濾器安裝、地面墻面的裝飾工作之后，潔凈室內(nèi)不應(yīng)再進(jìn)行產(chǎn)塵、揚(yáng)塵作業(yè)。15.5.3應(yīng)根據(jù)環(huán)保噪聲標(biāo)準(zhǔn)晝夜要求的不同，合理協(xié)調(diào)安排施工分項(xiàng)的施工時(shí)間。15.5.4施工完成后根據(jù)需要可進(jìn)行環(huán)保測評。15.5.5施工組織設(shè)計(jì)應(yīng)包括施工節(jié)能內(nèi)容，編制施工節(jié)能方案，并經(jīng)監(jiān)理(建設(shè))單位審查批準(zhǔn)，對從事施工節(jié)能作業(yè)的專業(yè)人員應(yīng)進(jìn)行技術(shù)交底和必要的實(shí)際操作培訓(xùn)。15.5.6采取節(jié)約用電、用水措施，施工用電、用水應(yīng)安裝計(jì)量裝置。安徽潔凈工作臺無塵室檢測方法