4.1.2潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離（相鄰側(cè)邊沿）宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設(shè)有城市綠化帶時，可根據(jù)具體條件適當減少，但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應(yīng)與容許振動值比較分析后確定。4.1.4廠區(qū)總平面布置時，應(yīng)按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。4.1.5潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。潔凈室則是一種控制空氣中的污染物質(zhì)。無塵室檢測范圍

1一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2 款的要求;選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。上?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境無塵室檢測標準無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無塵室與負壓無塵室。

16.4.22臭氧濃度的檢驗應(yīng)符合下列規(guī)定：在風(fēng)系統(tǒng)內(nèi)或室內(nèi)安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應(yīng)符合現(xiàn)行的相關(guān)產(chǎn)品標準規(guī)定外，還應(yīng)在系統(tǒng)和該裝置正常運轉(zhuǎn)條件下，檢測室內(nèi)臭氧濃度。應(yīng)按附錄E檢驗，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求。當設(shè)計無明確要求時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《室內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應(yīng)符合下列規(guī)定：當對新風(fēng)效果作細致確認時，可在風(fēng)系統(tǒng)正常運行、室內(nèi)處于動態(tài)條件下，于每一班次結(jié)束之前檢測室內(nèi)二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求。當設(shè)計無明確要求時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《空內(nèi)空氣質(zhì)量標準》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設(shè)方與檢驗方商定的方法檢測，結(jié)果應(yīng)符合設(shè)計要求或雙方商定的標準。

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。12.1.3電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動力設(shè)備，宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)（含制冷機），應(yīng)由變電所專線供電。在額定風(fēng)量下,極易穿透粒徑法的效率在99.9995%以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：1運行班次或使用時間不同；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)，6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。潔凈室(區(qū))已處于正常生產(chǎn)狀態(tài),設(shè)備在指定的方式下進行,并且有人員按照規(guī)范操作。北京實驗室環(huán)境無塵室檢測流程

空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。無塵室檢測范圍

13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺。13.2.5潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管,應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作,并應(yīng)接地。13.2.6潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時,應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng),并應(yīng)將其接地。當使用導(dǎo)電性橡膠軟管時,應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體,并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。13.2.7潔凈廠房防靜電環(huán)境中,應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器.防靜電安全工作臺。無塵室檢測范圍