深圳市東信高科自動化設(shè)備有限公司2025-01-07
常見故障原因
? 電源問題:電源供應(yīng)不穩(wěn)定或斷電,會致設(shè)備無法啟動。如插頭松動、線路老化短路,或電源模塊故障。
? 氣體供應(yīng)故障:氣體管路堵塞、漏氣,或氣體流量控制器故障,影響等離子體產(chǎn)生。如管路彎折、密封件老化致漏氣。
? 真空泵故障:真空度不足,無法形成正常等離子體環(huán)境。泵體磨損、葉片損壞,或真空泵油污染變質(zhì)會引發(fā)此問題。
? 電極故障:長期使用,電極磨損、腐蝕,影響等離子體產(chǎn)生。如電極表面有污垢、出現(xiàn)裂紋。
快速排查與解決
? 電源排查:檢查插頭連接,觀察設(shè)備電源指示燈。若指示燈不亮,測電源插座電壓,排查線路與電源模塊。松動插頭插緊,線路故障更換,電源模塊問題聯(lián)系專業(yè)維修。
? 氣體供應(yīng)檢查:查看氣體壓力表,管路外觀有無彎折、破損,嗅有無氣體異味判斷漏氣。堵塞則疏通或換管,漏氣修復(fù)或換密封件,流量控制器故障校準或更換。
? 真空泵檢查:聽真空泵運行聲音,看真空度顯示。聲音異?;蛘婵斩炔贿_要求,檢查泵油,污染變質(zhì)及時更換。泵體故障,專業(yè)人員檢修。
? 電極檢查:停機斷電,打開設(shè)備檢查電極。有污垢清潔,磨損腐蝕嚴重則更換。
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