深圳市東信高科自動(dòng)化設(shè)備有限公司2025-01-07

常見故障原因 ? 電源問題：電源供應(yīng)不穩(wěn)定或斷電，會(huì)致設(shè)備無法啟動(dòng)。如插頭松動(dòng)、線路老化短路，或電源模塊故障。 ? 氣體供應(yīng)故障：氣體管路堵塞、漏氣，或氣體流量控制器故障，影響等離子體產(chǎn)生。如管路彎折、密封件老化致漏氣。 ? 真空泵故障：真空度不足，無法形成正常等離子體環(huán)境。泵體磨損、葉片損壞，或真空泵油污染變質(zhì)會(huì)引發(fā)此問題。 ? 電極故障：長期使用，電極磨損、腐蝕，影響等離子體產(chǎn)生。如電極表面有污垢、出現(xiàn)裂紋。 快速排查與解決 ? 電源排查：檢查插頭連接，觀察設(shè)備電源指示燈。若指示燈不亮，測電源插座電壓，排查線路與電源模塊。松動(dòng)插頭插緊，線路故障更換，電源模塊問題聯(lián)系專業(yè)維修。 ? 氣體供應(yīng)檢查：查看氣體壓力表，管路外觀有無彎折、破損，嗅有無氣體異味判斷漏氣。堵塞則疏通或換管，漏氣修復(fù)或換密封件，流量控制器故障校準(zhǔn)或更換。 ? 真空泵檢查：聽真空泵運(yùn)行聲音，看真空度顯示。聲音異?；蛘婵斩炔贿_(dá)要求，檢查泵油，污染變質(zhì)及時(shí)更換。泵體故障，專業(yè)人員檢修。 ? 電極檢查：停機(jī)斷電，打開設(shè)備檢查電極。有污垢清潔，磨損腐蝕嚴(yán)重則更換。

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