江蘇欣豐昌系統(tǒng)工程有限公司2024-04-06
無(wú)塵車間的凈化級(jí)別主要根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。例如,國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)要求將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在每立方米3500個(gè)以下。而在某些高標(biāo)準(zhǔn)的芯片生產(chǎn)加工中,微塵數(shù)量需要被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)。
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