TAC涂層能不能用于提高半導(dǎo)體生長(zhǎng)設(shè)備的熱場(chǎng)材料性能？

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深圳市奧美特納米科技有限公司2025-02-20

是的，TAC涂層的高溫穩(wěn)定性、抗氧化性，可用于提升碳化硅晶圓生長(zhǎng)中的熱場(chǎng)材料性能。

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簡(jiǎn)介：深圳市奧美特納米科技有限公司是一家真空超硬PVD涂層加工服務(wù)的企業(yè)，具有多項(xiàng)涂層技術(shù)。

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