真空等離子清洗機中氬氣電離產生的等離子體為暗紅色。在相同的放電環(huán)境下，氫氣和氮氣產生的等離子體顏色為紅色，但氬氣等離子體的亮度會低于氮氣，高于氫氣，易于區(qū)分。(1)表面清潔 在去除晶圓、玻璃等產品表面顆粒的過程中，通常采用Ar等離子體轟擊表面顆粒，達到顆粒分散、疏松(與基板表面分離)的效果，然后采用超聲波清洗或離心清洗去除表面顆粒。特別是在半導體封裝工藝中，使用氬等離子體或氬氫等離子體進行表面清洗，以防止引線鍵合工藝完成后引線氧化。 ②表面粗糙化 等離子清洗機的表面粗糙化，又稱表面蝕刻，目的是提高材料表面的粗糙度，從而增加粘接、印刷、焊接等工藝的結合力。氬等離子清洗機處理后的表面張力將顯著提高。 活性氣體產生的等離子體也能增加表面粗糙度，但氬電離產生的粒子相對較重，氬離子在電場作用下的動能會明顯高于活性氣體，因此其粗化效果會更明顯，廣泛應用于無機基板表面粗化工藝中。如玻璃基板表面處理、金屬基板表面處理等。

③活性氣體輔助 在等離子清洗機的活化和清洗過程中，經常會混合工藝氣體，以達到更好的效果。由于氬的分子比較大，電離后產生的粒子通常在清洗和活化表面時與活性氣體混合，常見的是氬氧混合物。氧是一種高活性氣體，能有效地化學分解有機污染物或有機基材表面，但其顆粒相對較小，其破鍵和轟擊能力有限。 如果加入一定比例的氬氣，產生的等離子體將對有機污染物或有機基板表面具有更強的破鍵和分解能力，從而加快清洗和活化效率。 在引線鍵合和鍵合工藝中應用氬氫混合氣體，不僅可以增加鍵合焊盤的粗糙度，還可以有效去除鍵合焊盤表面的有機污染物，減少表面的輕微氧化，廣泛應用于半導體封裝和SMT行業(yè)。 氫氣 與氧氣類似，氫氣是一種高活性氣體，可以活化和清潔表面。氫和氧的主要區(qū)別在于反應后形成的活性基團不同，氫具有還原性，可用于去除金屬表面的微氧化層，不易損傷表面敏感有機層。因此，它被廣泛應用于微電子、半導體和電路板制造行業(yè)。 由于氫氣是一種危險氣體，在未電離的情況下與氧氣匯合會，所以通常禁止在等離子清洗機中混合兩種氣體。氫等離子體在真空等離子體中是紅色的，類似于氬等離子體，在相同的放電環(huán)境下比氬等離子體略暗。