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寧波邁維磁業(yè)有限公司2025-03-20
在半導(dǎo)體芯片制造過(guò)程中，強(qiáng)磁磁棒主要用于吸附和去除生產(chǎn)環(huán)境中的鐵磁性顆粒污染物。半導(dǎo)體芯片制造對(duì)環(huán)境潔凈度要求極高，微小的鐵磁性顆粒若進(jìn)入芯片制造環(huán)節(jié)，可能導(dǎo)致芯片短路、性能下降等嚴(yán)重問(wèn)題。在芯片制造車間的空氣凈化系統(tǒng)、晶圓傳輸設(shè)備等位置安裝強(qiáng)磁磁棒，可有效捕獲空氣中和設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生的鐵磁性顆粒，保障芯片制造環(huán)境的潔凈，提高芯片制造的良品率。
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從半導(dǎo)體制造工藝的環(huán)境控制角度，在芯片制造車間的層流凈化系統(tǒng)中，將強(qiáng)磁磁棒集成在空氣過(guò)濾器內(nèi)，利用其強(qiáng)磁場(chǎng)吸附空氣中的鐵磁性顆粒。在晶圓傳輸設(shè)備的關(guān)鍵部位，如軌道、機(jī)械手臂等，布置強(qiáng)磁磁棒，吸附設(shè)備運(yùn)動(dòng)過(guò)程中因摩擦等產(chǎn)生的鐵磁性碎屑。通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，對(duì)磁棒吸附的污染物進(jìn)行統(tǒng)計(jì)和分析，及時(shí)更換或清理磁棒，確保芯片制造環(huán)境始終符合嚴(yán)格的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。
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