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如何確保半導體設備安裝的水平精度?

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上海笙電電力科技有限公司2025-02-20

確保半導體設備安裝水平精度需精細操作。首先,采用高精度水準儀、電子水平儀等測量工具,在設備安裝基座處建立精確基準平面,測量精度可達0.01mm/m。設備就位前,對基座進行研磨、找平處理,使其平整度達標。設備安裝過程中,利用可調(diào)節(jié)千斤頂、斜墊鐵等工具,依據(jù)測量數(shù)據(jù)微調(diào)設備高度與傾斜度,邊調(diào)整邊復測,直至設備水平度誤差控制在極小范圍,如關鍵加工平面水平度不超過0.02mm/m,保障設備運行平穩(wěn),加工精度可靠。我們笙電電力科技具有完善的組織架構(gòu)、專業(yè)的技術團隊及強大的項目執(zhí)行能力,竭誠為廣大客戶提供周到的設備安裝服務!

上海笙電電力科技有限公司
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簡介:上海笙電電力科技有限公司是一家專業(yè)從事機電設備生產(chǎn)、安裝、調(diào)試、維護和技術支持的企業(yè)。
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