深圳市慧吉時(shí)代科技有限公司2024-10-29

納米級平臺研制的一個關(guān)鍵部件是支承導(dǎo)軌，常規(guī)的接觸摩擦副式導(dǎo)軌，比如交叉滾子導(dǎo)軌、直線滾珠導(dǎo)軌等，會因?yàn)閷?dǎo)軌和滾珠之間的摩擦磨損而對平臺的精度及其穩(wěn)定性帶來不利影響，難以長期穩(wěn)定的實(shí)現(xiàn)納米級精度要求?；诳諝廨S承的氣浮式導(dǎo)軌由于沒有直接的機(jī)械接觸，運(yùn)動件和支承件之間的支承介質(zhì)是高壓空氣，因而可以時(shí)間很高的精度，并保持長期的精度穩(wěn)定性。所以，才用空氣軸承作為導(dǎo)軌組件是實(shí)現(xiàn)納米級平臺的一個較優(yōu)i選項(xiàng)。

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