米開羅那（上海）工業(yè)智能科技股份有限公司2024-08-16

手套箱蒸鍍一體機的工作原理主要基于真空鍍膜技術(shù)。它首先將手套箱內(nèi)部抽成高真空狀態(tài)，然后在真空腔室中放置需要鍍膜的基片和靶材。通過加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式蒸發(fā)出來，并沉降在基片表面形成薄膜。對于濺射類鍍膜，則利用電子或高能激光轟擊靶材，使表面組分以原子團或離子形式濺射出來并沉積在基片表面。整個鍍膜過程在手套箱的高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行，以確保鍍膜質(zhì)量和穩(wěn)定性。

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