具體實施方式下面結(jié)合實施例對本發(fā)明做進一步詳細描述，所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定。參見圖1～圖4，一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，包括背面設(shè)有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設(shè)有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應(yīng)的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護環(huán)102以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū)103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上；在外延層101上分別以n型離子注入形成保護環(huán)102，以p型離子注入形成有源區(qū)103；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105；所述的正面金屬電極106是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖，rsh為光電二極管關(guān)斷阻抗，rsh＝∞，rs為光電二極管串聯(lián)電阻。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。世華高硅光電二極管帶你體驗智能系統(tǒng)。深圳硅pin硅光電二極管批發(fā)

    二、2DU型硅光電二極管：2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的，從外形上分有2DUA，2DUB等類型，其中2DUA型管子體積較小些（見圖1（b））。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝，入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條，分別稱作前極、后極、環(huán)極（見圖1（b））。前極即光敏區(qū)（N型區(qū)）的引線；后極為襯底（P型區(qū)）的引線；環(huán)極是為了減小光電管的暗電流和提高管子的穩(wěn)定性而設(shè)計的另一電極。光電管的暗電流是指光電二極管在無光照、高工作電壓下的反向漏電流。我們要求暗電流越小越好。這樣的管子性能穩(wěn)定，同時對檢測弱光的能力也越強。為什么加了環(huán)極后就可以減小2DU型硅光電二極管的暗電流呢？這要從硅光電二極管的制造工藝談起。在制造硅光電二極管的管心時，將硅單晶片經(jīng)過研磨拋光后在高溫下先生長一層二氧化硅氧化層，然后利用光刻工藝在氧化層上刻出光敏面的窗口圖形，利用擴散工藝在圖形中擴散進去相應(yīng)的雜質(zhì)以形成P－N結(jié)。然后再利用蒸發(fā)、壓焊、燒結(jié)等工藝引出電極引線。由于2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制造的，在高溫生長氧化層的過程中，容易在氧化層下面的硅單晶表面形成一層薄薄的N型層。常州硅光硅光電二極管參數(shù)濱松光電二極管哪家棒！世華高。

    通過適當減小耗盡區(qū)寬度和減小擴散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導致響應(yīng)度的降低，再通過增加高反層使得光子在較薄的耗盡區(qū)中二次吸收來補償，以減小耗盡區(qū)變薄對光響應(yīng)度的影響(參見圖3)；高反層的形成使得器件保持對長波響應(yīng)度的同時，降低響應(yīng)時間；進一步，通過在高反層上刻孔形成均勻的電流路徑同時獲得高的響應(yīng)速度(參見圖4)；由于擴散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴散區(qū)阻抗很小。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機構(gòu)，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。

    本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果：本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，通過適當減小耗盡區(qū)寬度和減小擴散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導致響應(yīng)度的降低，本發(fā)明通過增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來補償；高反層的形成使得器件保持對長波響應(yīng)度的同時，降低響應(yīng)時間；由于擴散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴散區(qū)阻抗很小，因此擴散時間很短；從而實現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時提升。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，由于通過低阻材料降低了擴散區(qū)電阻，縮短了擴散時間；而高反層的設(shè)置提高了長波的吸收效率，降低了耗盡區(qū)的物理厚度，縮短了漂移時間，并且在其上開孔減小了擴散區(qū)的阻抗；襯底采用低電阻率材料，背面不用進行減薄注入，直接背面金屬化形成背面電極，避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖；圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖；圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖；圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖；圖5-1～圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測試曲線；圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。硅光電二極管供應(yīng)商就選世華高。

    本發(fā)明屬于光電催化技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法，可以實現(xiàn)znte光生載流子的定向分離，并加速界面co2還原反應(yīng)的活性。背景技術(shù)：能源危機和溫室效應(yīng)是人類目前急需解決的關(guān)鍵科學難題，以太陽能驅(qū)動的co2還原為解決這些問題提供了一個理想的途徑，該反應(yīng)綠色、**，條件溫和，吸引了多國和科研人員的目光。光電催化反應(yīng)技術(shù)整合光催化和電催化技術(shù)的優(yōu)勢,從而實現(xiàn)對co2還原更高的效率和更理想的選擇性。目前，光電催化co2還原的效率依然很低，太陽能到化學能的轉(zhuǎn)化效率遠低于工業(yè)應(yīng)用所需的10％效率，根本原因在于載流子復合嚴重，界面反應(yīng)動力學緩慢。為了推進光電催化co2還原技術(shù)的實際應(yīng)用，關(guān)鍵是開發(fā)**載流子分離的光陰極材料。znte是一種可見光響應(yīng)的p型半導體()，其導帶邊電勢()遠負于其它半導體，能克服co2還原的熱力學勢壘，是目前光(電)催化co2還原的理想材料。但是，單一znte光電極材料依然無法**分離光生載流子，大部分載流子在界面反應(yīng)發(fā)生之前復合損失。構(gòu)建半導體納米異質(zhì)結(jié)是分離光生載流子的通用途徑，但該方法往往需要兩個半導體之間的能帶匹配，且兩相界面需有利于載流子傳輸。這樣，很大地限制了半導體材料的選擇。因此。世華高專門供應(yīng)硅光電二極管。中山光電硅光電二極管價格

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    該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負責光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機構(gòu)，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。由襯底107與外延層101體電阻組成)，cj為光電二極管結(jié)電容(主要由p+有源區(qū)103與外延層101構(gòu)成二極管的勢壘電容組成)，rl為系統(tǒng)等效負載(50ω)；rs＝ρ(wo-wd)/aj+rc，其中，wo為襯底厚度，wd為耗盡區(qū)寬度，aj為結(jié)面積，rc為接觸電阻(歐姆接觸可忽略不計)，ρ為襯底電阻率；光電二極管響應(yīng)度responsivity很大程度上依賴于耗盡區(qū)的寬度，耗盡區(qū)越寬，光子轉(zhuǎn)換的光生載流子越多，響應(yīng)度越高；而光電二極管響應(yīng)時間t由三部分組成：t＝(tcc2+tdiff2+trc2)1/2；tcc為耗盡區(qū)中光生載流子的收集時間，與耗盡區(qū)寬度wd成正比；tdiff為耗盡區(qū)之外的光生載流子擴散到耗盡區(qū)里面所需的時間，正比于(wo-wd)2；trc為rc時間常數(shù)，trc＝(rs+rl)cj；本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管。深圳硅pin硅光電二極管批發(fā)