技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明解決的技術(shù)問題在于提供高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管及其制備方法，在不影響光電二極管響應(yīng)度的前提下，解決了硅基光電二極管響應(yīng)速度慢的問題，實現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時提升。本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，包括背面設(shè)有背面電極的襯底；襯底正面依次設(shè)有高反層、外延層、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極；所述的高反層上開設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極相對應(yīng)的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護(hù)環(huán)以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū)；所述的正面金屬電極還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)相連接。所述的襯底為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極。所述的高反層由折射率～～；高反層上開設(shè)的刻蝕孔為矩陣排列的圓形孔，或者為同心環(huán)形孔。所述的刻蝕孔為均勻分布的圓形孔時，孔直徑為10～50um，孔間距為15～50um，圓形孔的總面積為結(jié)面積的1/2；所述的刻蝕孔為同心環(huán)形孔時，同心環(huán)中心與正面金屬電極的中心重合，同心環(huán)中心為刻蝕區(qū)，相鄰環(huán)間距5～20um。所述的外延層淀積在高反層上；在外延層上分別以n型離子注入形成保護(hù)環(huán)。硅光電池就找深圳世華高。武漢硅pin硅光電二極管電池

    具體實施方式下面結(jié)合實施例對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述，所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定。參見圖1～圖4，一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，包括背面設(shè)有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設(shè)有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應(yīng)的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護(hù)環(huán)102以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū)103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進(jìn)一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上；在外延層101上分別以n型離子注入形成保護(hù)環(huán)102，以p型離子注入形成有源區(qū)103；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105；所述的正面金屬電極106是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖，rsh為光電二極管關(guān)斷阻抗，rsh＝∞，rs為光電二極管串聯(lián)電阻。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。廈門硅光硅光電二極管哪家好硅光電二極管是現(xiàn)代化工業(yè)自動化中重要的二極管之一。

    深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。硅光電二極管是當(dāng)前普遍應(yīng)用的半導(dǎo)體光電二極管。下面我們談?wù)?CU和2DU兩種類型硅光電二極管的種類、構(gòu)造以及應(yīng)用上的一些問題。種類與構(gòu)造一、2CU型硅光電二極管：2CU型硅光電二極管是用N型硅單晶制作的，根據(jù)外形尺寸的大小它又可分2CU-1-，2CU-2-，2CU-3-等型號，其中2CU-1-與2CU-2-體積較大，2CU-3-稍小些（見圖1（a））。這種類型的光電二極管多用帶透鏡窗口的金屬管殼封裝，下端有正、負(fù)兩個電極引線，它們分別與管心中的光敏面（P型層）和N型襯底相連。光線從窗入后經(jīng)透鏡聚焦在管心上，由于這種聚光作用增強(qiáng)了光照強(qiáng)度，從而可以產(chǎn)生較大的光電流。二、2DU型硅光電二極管：2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的，從外形上分有2DUA，2DUB等類型，其中2DUA型管子體積較小些（見圖1（b））。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝，入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條，分別稱作前極、后極、環(huán)極（見圖1（b））。前極即光敏區(qū)（N型區(qū)）的引線；后極為襯底（P型區(qū)）的引線。

    將上述sr摻雜batio3/znte工作電極放入光電化學(xué)反應(yīng)器內(nèi)，與鉑片對電極組裝成兩電極體系，將該電極在+，所用溶液為碳酸丙烯酯，用去離子水清洗后，將光電極在真空條件下50℃干燥10h。之后，采用上海辰華chi660e電化學(xué)工作站，將極化后的sr摻雜batio3/znte工作電極和飽與鉑片對電極、飽和甘汞電極組裝成典型的三電極體系，電解質(zhì)溶液為。光電流測試前，往電解質(zhì)溶液中鼓co2半個小時，使溶液中的氧氣排盡，co2濃度達(dá)到飽和。圖4為本實施例制備的sr摻雜batio3/znte工作電極和水熱法制備的znte薄膜電極在。由圖可知，單獨(dú)的znte光電催化難以產(chǎn)生co產(chǎn)物，說明znte光陰極的大部分載流子不能與co2發(fā)生相互作用，導(dǎo)致界面載流子嚴(yán)重復(fù)合，co產(chǎn)生量很低。但是，sr摻雜batio3/znte工作電極的co產(chǎn)量明顯增加，說明sr摻雜batio3增加了znte表面的載流子濃度，間接證實了sr摻雜batio3的載流子分離作用。大量供應(yīng)硅光電二極管就找世華高。

    控制煅燒溫度為350℃，煅燒時間為3h，即可得sr摻雜batio3/znte光電極。圖1為sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖，可以看到sr摻雜batio3納米纖維表面很光滑，纖維直徑在400nm左右，長度可達(dá)幾十微米，纖維之間相互交疊，形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。圖2為znte水熱生長在sr摻雜batio3納米纖維表面后的掃描電鏡圖，由圖可知。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。znte納米薄片均勻生長到sr摻雜batio3納米纖維表面，兩者之間形成完美的核殼納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)。實施例二稱取、，依次加入2ml乙酸、6ml乙醇和6ml水，攪拌一定時間，使固體粉末完全溶解；然后，加入，攪拌24h，得到紡絲溶液；移取7ml紡絲溶液到10ml注射器中。世華高硅光電二極管帶你開啟智慧生活。浙江硅光電硅光電二極管價格

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    本發(fā)明具有以下有益的技術(shù)效果：本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，通過適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低，本發(fā)明通過增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來補(bǔ)償；高反層的形成使得器件保持對長波響應(yīng)度的同時，降低響應(yīng)時間；由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴(kuò)散區(qū)阻抗很小，因此擴(kuò)散時間很短；從而實現(xiàn)硅基光電二極管高響應(yīng)度與高響應(yīng)速度同時提升。本發(fā)明提供的高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，由于通過低阻材料降低了擴(kuò)散區(qū)電阻，縮短了擴(kuò)散時間；而高反層的設(shè)置提高了長波的吸收效率，降低了耗盡區(qū)的物理厚度，縮短了漂移時間，并且在其上開孔減小了擴(kuò)散區(qū)的阻抗；襯底采用低電阻率材料，背面不用進(jìn)行減薄注入，直接背面金屬化形成背面電極，避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)圖示意圖；圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖；圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖；圖4為多孔結(jié)構(gòu)高反層的示意圖；圖5-1～圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應(yīng)度測試曲線；圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。武漢硅pin硅光電二極管電池