結(jié)構(gòu)簡單易于實(shí)現(xiàn)，不改變原有設(shè)備的主要結(jié)構(gòu)，只增加少量部件和對控制程序的改造，改造費(fèi)用增加很少，以很少的設(shè)備投資，既減少了產(chǎn)品生產(chǎn)過程中氮?dú)馐褂贸杀荆痔岣吡讼到y(tǒng)的可靠性；本真空焊接系統(tǒng)通過電磁鐵和磁環(huán)進(jìn)行磁性連接，可有效提升石英玻璃罩與下固定板之間的密封性能，以保證生產(chǎn)產(chǎn)品的品質(zhì)，從而提高真空焊接系統(tǒng)的實(shí)用性。附圖說明圖1為本實(shí)用新型正面結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型下固定板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型模塊圖。圖中：1、石英玻璃罩；2、上密封圈；3、上固定板；4、plc控制器；5、下密封圈；6、電磁鐵；7、下固定板；8、耐高溫傳輸管道；9、真空電磁閥；10、微型真空泵；11、氮?dú)怆姶砰y；12、氮?dú)獬錃獗茫?3、溫度檢測儀；14、熔深檢測儀；15、卡槽；16、感應(yīng)線圈；17、磁環(huán)。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請參閱圖1-3。硅光電二極管型號哪家棒！世華高。中山進(jìn)口硅光電二極管二極管

    深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管及其制備方法。背景技術(shù)：硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡單，響應(yīng)度峰值波長為940nm，在3dsensor、紅外測距、光通訊等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長相關(guān)，波長越長，入射越深，因此為了提高響應(yīng)度，傳統(tǒng)光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000～5000ohmcm)來提升耗盡區(qū)寬度，從而達(dá)到提高響應(yīng)度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應(yīng)用，光電二極管的響應(yīng)速度要求越來越高，常規(guī)硅基光電二極管響應(yīng)時間為納秒級，已無法滿足數(shù)據(jù)傳輸率1gbps以上的應(yīng)用場景，因此。嘉興硅光電硅光電二極管特性硅光電二極管電路哪家好？世華高。

    世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。高反層109由高折射率薄膜與低折射率薄膜交替疊加組成；2)利用等離子刻蝕機(jī)在高反層109上以干法刻蝕開設(shè)刻蝕孔，并刻蝕掉與正面金屬電極106相對的高反層109；3)刻蝕完成后，在高反層109上以化學(xué)氣相淀積的方法生長電阻率500～1000ohm·cm的n-外延層，其厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng)；4)在外延層101上以as離子源進(jìn)行n型離子注入，注入劑量1e15～2e15，形成保護(hù)環(huán)102。與保護(hù)環(huán)102間距12～20um，在外延層101上以b離子源進(jìn)行p型離子注入，注入劑量1e15～2e15，形成有源區(qū)103；5)在保護(hù)環(huán)102和有源區(qū)103上通過熱氧化法生成sio2層104，在sio2層上方淀積生長si3n4層105；6)接連刻穿si3n4層和sio2層形成接觸孔，然后濺射al，并將濺射層刻蝕形成正面金屬電極106；7)在襯底107背面直接進(jìn)行金屬化處理形成背面電極108。下面給出具體的實(shí)施例。實(shí)施例11)在n+重?fù)诫s的襯底107上濺射生成厚度3～5um的高反層109，2)利用等離子刻蝕機(jī)干法刻蝕工藝在高反層109刻孔；3)高反層109上通過淀積的方法生長n-外延層101。

    通過適當(dāng)減小耗盡區(qū)寬度和減小擴(kuò)散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導(dǎo)致響應(yīng)度的降低，再通過增加高反層使得光子在較薄的耗盡區(qū)中二次吸收來補(bǔ)償，以減小耗盡區(qū)變薄對光響應(yīng)度的影響(參見圖3)；高反層的形成使得器件保持對長波響應(yīng)度的同時，降低響應(yīng)時間；進(jìn)一步，通過在高反層上刻孔形成均勻的電流路徑同時獲得高的響應(yīng)速度(參見圖4)；由于擴(kuò)散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴(kuò)散區(qū)阻抗很小。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。硅光電二極管哪家好？世華高好？

    深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地，負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過十余年的發(fā)展，世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個銷售機(jī)構(gòu)，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。硅光電二極管是當(dāng)前普遍應(yīng)用的半導(dǎo)體光電二極管。下面我們談?wù)?CU和2DU兩種類型硅光電二極管的種類、構(gòu)造以及應(yīng)用上的一些問題。種類與構(gòu)造一、2CU型硅光電二極管：2CU型硅光電二極管是用N型硅單晶制作的，根據(jù)外形尺寸的大小它又可分2CU-1-，2CU-2-，2CU-3-等型號，其中2CU-1-與2CU-2-體積較大，2CU-3-稍小些（見圖1（a））。這種類型的光電二極管多用帶透鏡窗口的金屬管殼封裝，下端有正、負(fù)兩個電極引線，它們分別與管心中的光敏面（P型層）和N型襯底相連。光線從窗入后經(jīng)透鏡聚焦在管心上，由于這種聚光作用增強(qiáng)了光照強(qiáng)度，從而可以產(chǎn)生較大的光電流。硅光電二極管型號哪家好？世華高好！徐州硅光硅光電二極管型號

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    具體實(shí)施方式下面結(jié)合實(shí)施例對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)描述，所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定。參見圖1～圖4，一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管，包括背面設(shè)有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設(shè)有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設(shè)有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應(yīng)的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護(hù)環(huán)102以及設(shè)在其內(nèi)的有源區(qū)103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進(jìn)一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上；在外延層101上分別以n型離子注入形成保護(hù)環(huán)102，以p型離子注入形成有源區(qū)103；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105；所述的正面金屬電極106是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖，rsh為光電二極管關(guān)斷阻抗，rsh＝∞，rs為光電二極管串聯(lián)電阻。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設(shè)在深圳，主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷售工作。中山進(jìn)口硅光電二極管二極管