lab-on-chip 產(chǎn)生的應(yīng)用目的是實(shí)現(xiàn)微全分析系統(tǒng)的目標(biāo)-芯片實(shí)驗(yàn)室,目前工作發(fā)展的重點(diǎn)應(yīng)用領(lǐng)域是生命科學(xué)領(lǐng)域。當(dāng)前(2006)研究現(xiàn)狀:創(chuàng)新多集中于分離、檢測(cè)體系方面;對(duì)芯片上如何引入實(shí)際樣品分析的諸多問題,如樣品引入、換樣、前處理等有關(guān)研究還十分薄弱。它的發(fā)展依賴于多學(xué)科交叉的發(fā)展。目前媒體普遍認(rèn)為的生物芯片(micro-arrays),如,基因芯片、蛋白質(zhì)芯片等只是微流量為零的點(diǎn)陣列型雜交芯片,功能非常有限,屬于微流控芯片(micro-chip)的特殊類型,微流控芯片具有更廣的類型、功能與用途,可以開發(fā)出生物計(jì)算機(jī)、基因與蛋白質(zhì)測(cè)序、質(zhì)譜和色譜等分析系統(tǒng),成為系統(tǒng)生物學(xué)尤其系統(tǒng)遺傳學(xué)的極為重要的技術(shù)基礎(chǔ)。硅片微流道加工集成微電極,構(gòu)建腦機(jī)接口柔性電極系統(tǒng)減少手術(shù)創(chuàng)傷。吉林微流控芯片客服電話
深硅刻蝕工藝在高深寬比結(jié)構(gòu)中的技術(shù)突破:深硅刻蝕(DRIE)是制備高深寬比微流道的主要工藝,公司通過優(yōu)化Bosch工藝參數(shù),實(shí)現(xiàn)了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結(jié)構(gòu)加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體(ICP)源,結(jié)合氟基氣體(如SF6)與碳基氣體(如C4F8)的交替刻蝕與鈍化,確保側(cè)壁垂直度>89°,表面粗糙度<50nm。該技術(shù)應(yīng)用于地質(zhì)勘探模擬芯片時(shí),可精確復(fù)制地下巖層的微孔結(jié)構(gòu),用于油氣滲流特性研究;在生化試劑反應(yīng)腔中,高深寬比流道增加了反應(yīng)物接觸面積,使酶促反應(yīng)速率提升40%。公司還開發(fā)了雙面刻蝕與通孔對(duì)齊技術(shù),實(shí)現(xiàn)三維立體流道網(wǎng)絡(luò)加工,為微反應(yīng)器、微換熱器等復(fù)雜器件提供了關(guān)鍵制造能力,推動(dòng)MEMS技術(shù)在能源、環(huán)境等領(lǐng)域的跨學(xué)科應(yīng)用。河北微流控芯片材料區(qū)別完善 PDMS 芯片產(chǎn)線覆蓋來料加工、生產(chǎn)、質(zhì)檢,支持高標(biāo)準(zhǔn)批量交付。
標(biāo)準(zhǔn)化PDMS芯片產(chǎn)線:公司自建的PDMS芯片產(chǎn)線采用全自動(dòng)化模塑工藝,涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化(80℃/2 h)及等離子親水化處理等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。產(chǎn)線配備高精度模具(公差±2 μm)與光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng),可批量生產(chǎn)單分子檢測(cè)芯片、液滴生成芯片等產(chǎn)品。例如,液滴芯片通過流聚焦結(jié)構(gòu)生成單分散乳液(CV<3%),通量達(dá)10,000滴/秒,用于單細(xì)胞RNA測(cè)序時(shí),細(xì)胞捕獲效率超過95%。此外,PDMS芯片的表面改性技術(shù)(如二氧化硅涂層)可降低生物污染,在長(zhǎng)期細(xì)胞培養(yǎng)中保持表面親水性超過30天。該產(chǎn)線已為多家IVD企業(yè)提供定制化服務(wù),例如開發(fā)的核酸快檢芯片,將樣本到結(jié)果的時(shí)間縮短至30分鐘,靈敏度達(dá)98%,成為基層醫(yī)療機(jī)構(gòu)的主要檢測(cè)工具。
硅片微流道加工在微納器件中的應(yīng)用拓展:硅片作為MEMS工藝的主流材料,在微流控芯片中兼具機(jī)械強(qiáng)度與加工精度優(yōu)勢(shì)。公司利用深硅刻蝕(DRIE)技術(shù)實(shí)現(xiàn)高深寬比(>20:1)微流道加工,深度可達(dá)500μm以上,適用于高壓流體控制、微反應(yīng)器等場(chǎng)景。硅片表面通過熱氧化或氮化處理形成絕緣層,可集成微電極、壓力傳感器等功能單元,構(gòu)建“芯片實(shí)驗(yàn)室”(Lab-on-a-Chip)系統(tǒng)。例如,在腦機(jī)接口柔性電極芯片中,硅基微流道與鉑銥電極的集成設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)了神經(jīng)信號(hào)記錄與藥物微灌注的同步功能,其生物相容性通過表面PEG涂層優(yōu)化,可長(zhǎng)期植入體內(nèi)穩(wěn)定工作。公司還開發(fā)了硅片與PDMS、玻璃的異質(zhì)鍵合技術(shù),解決了不同材料熱膨脹系數(shù)差異導(dǎo)致的應(yīng)力問題,推動(dòng)硅基微流控芯片在生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域的跨學(xué)科應(yīng)用。梯度涂層設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微流控芯片內(nèi)細(xì)胞定向遷移,用于一些研究。
微流控芯片在石英和玻璃的加工中,常常利用不同化學(xué)方法對(duì)其表面改性,然后可以使用光刻和蝕刻技術(shù)將微通道等微結(jié)構(gòu)加工在上面。玻璃材料的加工步驟與硅材料加工稍有差異,主要步驟有:1)在玻璃基片表面鍍一層 Cr,再用甩膠機(jī)均勻的覆蓋一層光刻膠;2)利用光刻掩模遮擋,用紫外光照射,光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng);3)用顯影法去掉已曝光的光膠,用化學(xué)腐蝕的方法在鉻層上腐蝕出與掩模上平面二維圖形一致的圖案;4)用適當(dāng)?shù)目涛g劑在基片上刻蝕通道;5)刻蝕結(jié)束后,除去光刻膠,打孔后和玻璃蓋片鍵合。標(biāo)準(zhǔn)光刻和濕法刻蝕需要昂貴的儀器和超凈的工作環(huán)境,無法實(shí)現(xiàn)快速批量生產(chǎn)。apparatus微流控芯片的應(yīng)用。遼寧微流控芯片售后服務(wù)
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高聚物材料加工工藝:是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術(shù)、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導(dǎo)體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模,然后在陽模上澆注液體的高分子材料,將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結(jié)構(gòu)的基片,之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡(jiǎn)單易行,不需要高技術(shù)設(shè)備,是大量生產(chǎn)廉價(jià)芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當(dāng)?shù)年柲!<治⒘骺匦酒头娫?/p>