譜學技術(shù)微納米材料的化學成分分析主要依賴于各種譜學技術(shù),包括紫外-可見光譜紅外光譜、x射線熒光光譜、拉曼光譜、俄歇電子能譜、x射線光電子能譜等。另有一類譜儀是基于材料受激發(fā)的發(fā)射譜,是專為研究品體缺陷附近的原子排列狀態(tài)而設計的，如核磁共振儀、電子自旋共振譜儀、穆斯堡爾譜儀、正電子湮滅等等。熱分析技術(shù)，納米材料的熱分析主要是指差熱分析、示差掃描量熱法以及熱重分析。三種方法常常相互結(jié)合,并與其他方法結(jié)合用于研究微納米材料或納米粒子的一些特 征:(1)表面成鍵或非成鍵有機基團或其他物質(zhì)的存在與否、含量多少、熱失重溫度等(2)表面吸附能力的強弱與粒徑的關(guān)系(3)升溫過程中粒徑變化(4)升溫過程中的相轉(zhuǎn)變情況及晶化過程。納米力學測試還可以揭示納米材料的表面特性和表面反應動力學。重慶微電子納米力學測試模塊

將近場聲學和掃描探針顯微術(shù)相結(jié)合的掃描探針聲學顯微術(shù)是近些年來發(fā)展的納米力學測試方法。掃描探針聲學顯微術(shù)有多種應用模式，如超聲力顯微術(shù)(ultrasonic force microscopy，UFM)、原子力聲學顯微術(shù)(atomic force acoustic microscopy，AFAM)、超聲原子力顯微術(shù)(ultrasonic atomic force microscopy，UAFM)，掃描聲學力顯微術(shù)(scanning acoustic force microscopy，SAFM)等。在以上幾種應用模式中，以基于接觸共振檢測的AFAM 和UAFM 這兩種方法應用較為普遍，有時也將它們統(tǒng)稱為接觸共振力顯微術(shù)(contact resonance force microscopy，CRFM)。吉林化工納米力學測試納米力學測試可以應用于納米材料的研究和開發(fā)，以及納米器件的設計和制造。

采用磁力顯微鏡觀察Sm2Co17基永磁材料表面的波紋磁疇和條狀磁疇結(jié)構(gòu);使用摩擦力顯微鏡對計算機磁盤表面的摩擦特性進行試:利用靜電力顯微鏡測量技術(shù),依靠輕敲模式(Tapping mode)和抬舉模式(Lift mode),用相位成像測量有機高分子膜-殼聚糖膜(CHI)的表面電荷密度空間分布等等除此之外,近年來,SPM還用于測量化學鍵、納米碳管的強度,以及納米碳管操縱力方面的測量。利用透射電子顯微鏡和原子力顯微鏡原位加載,觀測單一納米粒子鏈的力學屬性和納觀斷裂,采用掃描電鏡、原子力顯微鏡對納米碳管的拉伸過程及拉伸強度進行測等:基于原子力顯微鏡提出一種納米級操縱力的同步測量方法,進而應用該方法,成功測量出操縱、切割碳納米管的側(cè)向力信息等。這些SFM技術(shù)為研究納米粒子/分子、基體與操縱工具之間的相互作用提供較直接的原始力學信息和實驗結(jié)果。

在黏彈性力學性能測試方面，Yuya 等發(fā)展了AFAM 黏彈性力學性能測試的理論基礎。隨后，Killgore 等將單點測試拓展到成像測試，對二元聚合物的黏彈性力學性能進行了定量化成像，獲得了存儲模量和損耗模量的分布圖。Hurley 等發(fā)展了一種不需要進行中間的校準測試過程而直接測量損耗因子的方法。Tung 等采用二維流體動力學函數(shù)，考慮探針接近樣品表面時的阻尼和附加質(zhì)量效應以及與頻率相關(guān)的流體動力載荷，對黏彈性阻尼損耗測試進行了修正。周錫龍等研究了探針不同階模態(tài)對黏彈性測量靈敏度的影響，提出了一種利用軟懸臂梁的高階模態(tài)進行黏彈性力學性能測試的方法。納米力學測試在生物醫(yī)學領域，助力研究細胞力學行為，揭示疾病發(fā)生機制。

國內(nèi)的江西省科學院、清華大學、南昌大學等采用掃描探針顯微鏡系列，如掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡等，對高精度納米和亞納米量級的光學超光滑表面的粗糙度和微輪廓進行測量研究。天津大學劉安偉等在量子隧道效應的基礎上，建立了適用于平坦表面的掃描隧道顯微鏡微輪廓測量的數(shù)學模型，仿真結(jié)果較好地反映了掃描隧道顯微鏡對樣品表面輪廓的測量過程。清華大學李達成等研制成功在線測量超光滑表面粗糙度的激光外差干涉儀，該儀器以穩(wěn)頻半導體激光器作為光源，共光路設計提高了抗外界環(huán)境干擾的能力，其縱向和橫向分辨率分別為0．39nm和0．73μm。李巖等提出了一種基于頻率分裂激光器光強差法的納米測量原理。利用大數(shù)據(jù)和人工智能技術(shù)，優(yōu)化納米力學測試結(jié)果分析，提升研究效率。甘肅高精度納米力學測試

納米力學測試能夠揭示材料表面的微觀結(jié)構(gòu)與性能之間的關(guān)系。重慶微電子納米力學測試模塊

經(jīng)過三十年的發(fā)展，目前科學家在AFM 基礎上實現(xiàn)了多種測量和表征材料不同性能的應用模式。利用原子力顯微鏡，人們實現(xiàn)了對化學反應前后化學鍵變化的成像，研究了化學鍵的角對稱性質(zhì)以及分子的側(cè)向剛度。Ternes 等測量了在材料表面移動單個原子所需要施加的作用力。各種不同的應用模式可以獲得被測樣品表面納米尺度力、熱、聲、電、磁等各個方面的性能?；贏FM 的定量化納米力學測試方法主要有力—距離曲線測試、掃描探針聲學顯微術(shù)和基于輕敲模式的動態(tài)多頻技術(shù)。重慶微電子納米力學測試模塊

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