隨著納米技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)薄膜、納米材料的力學(xué)性質(zhì)的測(cè)量成為了一個(gè)重要的課題，然而由于尺寸的限制，傳統(tǒng)的拉伸試驗(yàn)等力學(xué)測(cè)試方法很難在納米尺度下得到準(zhǔn)確的結(jié)果。而原位納米力學(xué)測(cè)量技術(shù)的出現(xiàn)，為解決納米尺度下材料力學(xué)性質(zhì)的測(cè)試問題提供了新的思路和手段。原位納米壓痕技術(shù)，原位納米壓痕技術(shù)是一種應(yīng)用比較普遍的力學(xué)測(cè)試方法，其基本原理是用尖頭壓在待測(cè)材料表面，通過測(cè)量壓頭的形變等參數(shù)來推算出待測(cè)材料的力學(xué)性質(zhì)。由于其具有樣品尺寸、壓頭設(shè)計(jì)等方面的優(yōu)點(diǎn)，原位納米壓痕技術(shù)已經(jīng)被普遍應(yīng)用于納米材料力學(xué)測(cè)試領(lǐng)域?？鐚W(xué)科合作，推動(dòng)納米力學(xué)測(cè)試技術(shù)不斷創(chuàng)新，滿足多領(lǐng)域需求。四川科研院納米力學(xué)測(cè)試方法

Berkovich壓頭是納米壓痕硬度計(jì)中較常用的。它可以加工得很尖，而且?guī)缀涡螤钤诤苄〕叨葍?nèi)保持自相似，適合于小尺度的壓痕實(shí)驗(yàn)。目前，該類壓頭的加工水平：端部半徑50nm，典型值約40nm，中心線和面的夾角精度為J=0.025°。在納米壓痕硬度測(cè)量中，Berkovich壓頭是一種理想的壓頭。優(yōu)點(diǎn)包括：易獲得好的加工質(zhì)量，很小載荷就能產(chǎn)生塑性，能減小摩擦的影響。Cube-corner壓頭因其三個(gè)面相互垂直，像立方體的一個(gè)角，故取此名稱。壓頭越尖，就會(huì)在接觸區(qū)內(nèi)產(chǎn)生理想的應(yīng)力和應(yīng)變。目前，該種壓頭主要用于斷裂韌性(fracture toughness)的研究。它能在脆性材料的壓痕周圍產(chǎn)生很小的規(guī)則裂紋，這樣的裂紋能在相當(dāng)小的范圍內(nèi)用來估計(jì)斷裂韌性。錐形壓頭圓錐具有尖的自相似幾何形狀，從模型角度常利用它的軸對(duì)稱特性，納米壓痕硬度的許多模型均基于圓錐壓痕。由于難以加工出尖的圓錐金剛石壓頭，它在小尺度實(shí)驗(yàn)中很少使用。福建微納米力學(xué)測(cè)試原理納米力學(xué)測(cè)試可用于研究納米顆粒在膠體、液態(tài)等介質(zhì)中的相互作用行為。

分子微納米材料在超聲診療學(xué)中的應(yīng)用，分子影像可以非侵入性探測(cè)體內(nèi)生理和病理情況的變化,有利于研究疾病的病因、發(fā)生、發(fā)展及轉(zhuǎn)歸。近年來由于微納米技術(shù)的飛速發(fā)展，超聲分子影像也取得了長足的進(jìn)步。微納米材料具有獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，可以負(fù)載多種藥物/分子、容易進(jìn)行理化修飾、可以進(jìn)行多重靶向運(yùn)輸?shù)取Ｍㄟ^與超聲結(jié)合可以介導(dǎo)血腦屏障的開放，實(shí)現(xiàn)多模態(tài)成像、診療一體化、重癥微環(huán)境標(biāo)志物監(jiān)控和信號(hào)放大。進(jìn)一步研究應(yīng)著眼于其生物安全性，實(shí)現(xiàn)材料的無潛在致病毒性、無脫靶效應(yīng)及能進(jìn)行體內(nèi)代謝等，解決這些問題將為疾病提供一種新的診療模式。

2005 年，中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所的曾華榮研究員在國內(nèi)率先單獨(dú)開發(fā)出定頻成像模式的AFAM，但不能測(cè)量模量。隨后，同濟(jì)大學(xué)、北京工業(yè)大學(xué)等單位也對(duì)這種成像模式進(jìn)行了研究。2011 年初，我們研究組將雙頻共振追蹤技術(shù)用于AFAM，實(shí)現(xiàn)了快速的納米模量成像(一幅256×256 像素的圖像只需1~2min)，并對(duì)其準(zhǔn)確度和靈敏度進(jìn)行了系統(tǒng)研究。較近幾年，AFAM 引起了越來越多國內(nèi)外學(xué)者的關(guān)注。然而，相對(duì)于其他AFM 模式，AFAM 的測(cè)量原理涉及梁振動(dòng)力學(xué)和接觸力學(xué)，初學(xué)者不容易掌握。納米力學(xué)測(cè)試應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、能源等多個(gè)領(lǐng)域，具有普遍前景。

將近場(chǎng)聲學(xué)和掃描探針顯微術(shù)相結(jié)合的掃描探針聲學(xué)顯微術(shù)是近些年來發(fā)展的納米力學(xué)測(cè)試方法。掃描探針聲學(xué)顯微術(shù)有多種應(yīng)用模式，如超聲力顯微術(shù)(ultrasonic force microscopy，UFM)、原子力聲學(xué)顯微術(shù)(atomic force acoustic microscopy，AFAM)、超聲原子力顯微術(shù)(ultrasonic atomic force microscopy，UAFM)，掃描聲學(xué)力顯微術(shù)(scanning acoustic force microscopy，SAFM)等。在以上幾種應(yīng)用模式中，以基于接觸共振檢測(cè)的AFAM 和UAFM 這兩種方法應(yīng)用較為普遍，有時(shí)也將它們統(tǒng)稱為接觸共振力顯微術(shù)(contact resonance force microscopy，CRFM)。納米力學(xué)測(cè)試通常在真空或者液體環(huán)境下進(jìn)行，以保證測(cè)試的準(zhǔn)確性。福建微納米力學(xué)測(cè)試原理

納米壓痕技術(shù)作為一種常見測(cè)試方法，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料在微觀層面的力學(xué)性能。四川科研院納米力學(xué)測(cè)試方法

納米壓痕獲得的材料信息也比較豐富，既可以通過靜態(tài)力學(xué)性能測(cè)試獲得材料的硬度、彈性模量、斷裂韌性、相變(疇變) 等信息，也可以通過動(dòng)態(tài)力學(xué)性能測(cè)試獲得被測(cè)樣品的存儲(chǔ)模量、損耗模量或損耗因子等。另外，動(dòng)態(tài)納米壓痕技術(shù)還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料微納米尺度存儲(chǔ)模量和損耗模量的模量成像(modulus mapping)。圖1 是美國Hysitron 公司生產(chǎn)的TI-900 Triboindenter 納米壓痕儀的實(shí)物圖。納米壓痕作為一種較通用的微納米力學(xué)測(cè)試方法，目前仍然有不少研究者致力于對(duì)其方法本身的改進(jìn)和發(fā)展。四川科研院納米力學(xué)測(cè)試方法