目前納米壓痕在科研界和工業(yè)界都得到了普遍的應(yīng)用,但是它仍然存在一些難以克服的缺點(diǎn),比如納米壓痕實(shí)際上是對(duì)材料有損的測(cè)試,尤其是對(duì)于薄膜來(lái)說(shuō);其壓針的曲率半徑一般在50 nm 以上,由于分辨率的限制,不能對(duì)更小尺度的納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行測(cè)試;納米壓痕的掃描功能不強(qiáng),掃描速度相對(duì)較慢,無(wú)法捕捉材料在外場(chǎng)作用下動(dòng)態(tài)性能的變化。基于AFM 的納米力學(xué)測(cè)試方法是另一類被普遍應(yīng)用的測(cè)試方法。1986 年,Binnig 等發(fā)明了頭一臺(tái)原子力顯微鏡(AFM)。AFM 克服了之前掃描隧道顯微鏡(STM) 只能對(duì)導(dǎo)電樣品或半導(dǎo)體樣品進(jìn)行成像的限制,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)絕緣體材料表面原子尺度的成像,具有更普遍的應(yīng)用范圍。AFM 利用探針作為傳感器對(duì)樣品表面進(jìn)行測(cè)試,不只可以獲得樣品表面的形貌信息,還可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料微區(qū)物理、化學(xué)、力學(xué)等性質(zhì)的定量化測(cè)試。目前,AFM 普遍應(yīng)用于物理學(xué)、化學(xué)、材料學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微電子等眾多領(lǐng)域。納米力學(xué)測(cè)試需要使用專屬的納米力學(xué)測(cè)試儀器,如納米壓痕儀和納米拉伸儀等。重慶微電子納米力學(xué)測(cè)試定制
銀微納米材料,微納米材料的性能受到其形貌的影響,不同維度類型的銀微納米材料有著不同的應(yīng)用范圍。零維的銀納米材料包括銀原子和粒徑小于15nm 的銀納米粉,主要提高催化性能、 抗細(xì)菌及光性能:一維的銀納米線由化學(xué)還原法制備,主要用于透明納米銀線薄膜制備的柔性電子器件;二維的銀微納米片可用球磨法、光誘導(dǎo)法、模板法等方法制備,其在導(dǎo)電漿料及電子元器件等方面有普遍的應(yīng)用:三維的銀微納米材料包括球形和異形銀粉,球形銀粉主要用于導(dǎo)電漿料填充物,異形銀粉主要應(yīng)用催化、光學(xué)等方面。改善制備方法,實(shí)現(xiàn)微納米材雨的形貌授制,提升產(chǎn)物穩(wěn)定性,是銀納米材料研究的發(fā)展方向。預(yù)覽與源文檔一致,下載高清無(wú)水印微納米技術(shù)是一門(mén)擁有廣闊應(yīng)用前景的高新技術(shù),不只在材料科學(xué)領(lǐng)域,微納米材料有著普遍的應(yīng)用,在日常生活和工業(yè)生產(chǎn)中,微納米材料的應(yīng)用實(shí)例不勝枚舉。金屬納米力學(xué)測(cè)試設(shè)備納米力學(xué)測(cè)試還可以揭示納米材料的表面特性和表面反應(yīng)動(dòng)力學(xué)。
模塊化設(shè)計(jì)使系統(tǒng)適用于各種形貌樣品的測(cè)試需求及各種SEM/FIB配置,緊湊的外形設(shè)計(jì)適用于各種全尺寸的SEM/FIB樣品室。用戶可設(shè)計(jì)自定義的測(cè)試程序和測(cè)試模式:①FT-SH傳感器連接頭,其配置的4個(gè)不同型號(hào)的連接頭,可滿足各種不同的測(cè)試條件(平面外或者平面內(nèi)測(cè)試)和不同的測(cè)試距離。②FFT-SB樣品基座適配頭,其配置的4個(gè)不同型號(hào)的適配頭用來(lái)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)的高度和角度。③FT-ETB電學(xué)測(cè)試樣品臺(tái),包含2個(gè)不同的電學(xué)測(cè)試樣品臺(tái),實(shí)現(xiàn)樣品和納米力學(xué)測(cè)試平臺(tái)的電導(dǎo)通。④FT-S微力傳感探針和FT-G微鑷子,實(shí)現(xiàn)微納力學(xué)測(cè)試和微納操作組裝(按需額外購(gòu)買(mǎi))。
納米壓痕儀的應(yīng)用,納米壓痕儀可適用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析,包括PVD、CVD、PECVD薄膜,感光薄膜,彩繪釉漆,光學(xué)薄膜,微電子鍍膜,保護(hù)性薄膜,裝飾性薄膜等等?;w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料,包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads);存儲(chǔ)材料(磁盤(pán)的保護(hù)層、磁盤(pán)基底上的磁性涂層、CD的保護(hù)層);光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護(hù)層);金屬蒸鍍層;防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具);藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織);工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。納米力學(xué)測(cè)試技術(shù)為納米材料在航空航天、汽車制造等領(lǐng)域的應(yīng)用提供了有力支持。
應(yīng)用舉例:納米纖維拉伸測(cè)試,納米力學(xué)測(cè)試單軸拉伸測(cè)試是納米纖維定量力學(xué)分析較常見(jiàn)的方法。用Pt-EBID將納米纖維兩端分別固定在FT-S微力傳感探針和樣品架上,拉伸直至斷裂。從應(yīng)力-應(yīng)變曲線計(jì)算得到混合納米纖維的平均屈服/極限拉伸強(qiáng)度為375MPa/706Mpa,金納米纖維的平均屈服/極限拉伸強(qiáng)度為451MPa/741Mpa。對(duì)單根納米纖維進(jìn)行各種機(jī)械性能的定量測(cè)試需要通用性極高的儀器。這類設(shè)備必須能進(jìn)行納米機(jī)器人制樣和力學(xué)測(cè)試。并且由于納米纖維軸向形變(延長(zhǎng))小,高位移分辨率和優(yōu)異的位置穩(wěn)定性(位置漂移?。?duì)于精確一定測(cè)量是至關(guān)重要的。通過(guò)納米力學(xué)測(cè)試,可評(píng)估納米材料在極端環(huán)境下的可靠性。金屬納米力學(xué)測(cè)試設(shè)備
納米力學(xué)測(cè)試可以幫助研究人員了解納米材料的力學(xué)性能與結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系,為納米材料的設(shè)計(jì)和優(yōu)化提供指導(dǎo)。重慶微電子納米力學(xué)測(cè)試定制
電子/離子束云紋法和電鏡掃描云紋法,利用電子/離子?xùn)|抗蝕劑制作出10000線/mm的電子/離子?xùn)|云紋光柵,這種光柵的應(yīng)用頻率范圍為40~20000線/mm,柵線的較小寬度可達(dá)到幾十納米。電鏡掃描條紋的倍增技術(shù)用于單晶材料納米級(jí)變形測(cè)量。其原理是:在測(cè)量中,單晶材料的晶格結(jié)構(gòu)由透射電鏡(TEM)采集并記錄在感光膠片上作為試件柵,以幾何光柵為參考柵,較終通過(guò)透射電鏡放大倍數(shù)與試件柵的頻率關(guān)系對(duì)上述兩柵的干涉云紋進(jìn)行分析,即可獲得單晶材料表面微小的應(yīng)變場(chǎng)。STM/晶格光柵云紋法,隧道顯微鏡(STM)納米云紋法是測(cè)量表面位移的新技術(shù)。測(cè)量中,把掃描隧道顯微鏡的探針掃描線作為參考柵,把物質(zhì)原子晶格柵結(jié)構(gòu)作為試件柵,然后對(duì)這兩組柵線干涉形成的云紋進(jìn)行納米級(jí)變形測(cè)量。運(yùn)用該方法對(duì)高定向裂解石墨的納米級(jí)變形應(yīng)變進(jìn)行測(cè)試,得到隨掃描范圍變化的應(yīng)變場(chǎng)。重慶微電子納米力學(xué)測(cè)試定制