將近場聲學和掃描探針顯微術(shù)相結(jié)合的掃描探針聲學顯微術(shù)是近些年來發(fā)展的納米力學測試方法。掃描探針聲學顯微術(shù)有多種應(yīng)用模式，如超聲力顯微術(shù)(ultrasonic force microscopy，UFM)、原子力聲學顯微術(shù)(atomic force acoustic microscopy，AFAM)、超聲原子力顯微術(shù)(ultrasonic atomic force microscopy，UAFM)，掃描聲學力顯微術(shù)(scanning acoustic force microscopy，SAFM)等。在以上幾種應(yīng)用模式中，以基于接觸共振檢測的AFAM 和UAFM 這兩種方法應(yīng)用較為普遍，有時也將它們統(tǒng)稱為接觸共振力顯微術(shù)(contact resonance force microscopy，CRFM)。在納米力學測試中，常用的測試方法包括納米壓痕測試、納米拉伸測試和納米彎曲測試等。吉林納米力學測試技術(shù)

FT-NMT03納米力學測試系統(tǒng)可以配合SEM/FIB原位精確直接地測量納米纖維的力學特性。微力傳感器加載微力，納米力學測試結(jié)合高分辨位置編碼器可以對納米纖維進行拉伸、循環(huán)、蠕變、斷裂等形變測試。力-形變（應(yīng)力-應(yīng)變）曲線可以定量的表征納米纖維的材料特性。此外，納米力學測試結(jié)合樣品架電連接，可以定量表征電-機械性質(zhì)。位置穩(wěn)定性，納米力學測試對于納米纖維的精確拉伸測試，納米力學測試系統(tǒng)的位移是測試不穩(wěn)定性的主要來源。圖2展示了FT-NMT03納米力學測試系統(tǒng)位移的統(tǒng)計學評價，從中可以找到每一個測試間隔內(nèi)位移導(dǎo)致的不確定性，例如100s內(nèi)為450pm，意思是65%（或95%）的概率，納米力學測試系統(tǒng)在100s的時間間隔內(nèi)的位移穩(wěn)定性小于±450pm（或±900pm）。江西微納米力學測試系統(tǒng)通過納米力學測試，可以測量納米材料的彈性模量、硬度和斷裂韌性等力學性能。

原位納米機械性能試驗技術(shù)，原位納米機械性能試驗技術(shù)是一種應(yīng)用超分辨顯微學、納米壓痕技術(shù)等手段，通過獨特的力學測試方法對納米尺度下的材料機械性質(zhì)進行測試的方法。相比于傳統(tǒng)的拉伸、壓縮等方法，原位納米機械性能試驗技術(shù)具有更高的精度和更豐富的信息，可以為納米材料的研究提供更加詳細的數(shù)據(jù)支持。隨著納米尺度下功能性材料的不斷涌現(xiàn)，納米力學測試將成為實現(xiàn)其合理設(shè)計的重要手段之一。原位納米力學測量技術(shù)在納米材料力學測試領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景，它不只可以為納米尺度下材料力學行為的實驗研究提供詳細的數(shù)據(jù)支撐，而且還可以為新材料的設(shè)計和開發(fā)提供指導(dǎo)。

與傳統(tǒng)硬度計算不同的是，A 值不是由壓痕照片得到，而是根據(jù) “接觸深度” hc(nm) 計算得到的。具體關(guān)系式需通過試驗來確定，根據(jù)壓頭形狀的不同，一般采用多項式擬合的方法，比如針對三角錐形壓頭，其擬合結(jié)果為：A = 24.5 + 793hc + 4238+ 332+ 0.059+0.069+ 8.68+ 35.4+ 36. 9式中 “接觸深度”hc由下式計算得出：hc = h - ε P max/S，式中，ε是與壓頭形狀有關(guān)的常數(shù)，對于球形或三角錐形壓頭可以取ε = 0.75。而S的值可以通過對載荷-位移曲線的卸載部分進行擬合，再對擬合函數(shù)求導(dǎo)得出，即，式中Q 為擬合函數(shù)。這樣通過試驗得到載荷-位移曲線，測量和計算試驗過程中的載荷 P、壓痕深度h和卸載曲線初期的斜率S，就可以得到樣品的硬度值。該技術(shù)通過記錄連續(xù)的載荷-位移、加卸載曲線，可以獲得材料的硬度、彈性模量、屈服應(yīng)力等指標，它克服了傳統(tǒng)壓痕測量只適用于較大尺寸試樣以及只能獲得材料的塑性性質(zhì)等缺陷，同時也提高了硬度的檢測精度，使得邊加載邊測量成為可能，為檢測過程的自動化和數(shù)字化創(chuàng)造了條件。納米力學測試可以用于研究納米材料的界面行為和相互作用，為納米材料的應(yīng)用提供理論基礎(chǔ)。

樣品制備，納米力學測試納米纖維的拉伸測試前需要復(fù)雜的樣品制備過程，因此FT-NMT03納米力學測試具備微納操作的功能，納米力學測試利用力傳感微鑷或者微力傳感器可以對單根納米纖維進行五個自由度的拾取-放置操作（閉環(huán)）。可以使用聚焦離子束（FIB）沉積或電子束誘導(dǎo)沉積（EBID）對樣品進行固定。納米力學測試這種結(jié)合了電-機械測量和納米加工的技術(shù)為大多數(shù)納米力學測試應(yīng)用提供了完美的解決方案。SEM/FIB集成，得益于FT-NMT03納米力學測試系統(tǒng)的緊湊尺寸（71×100×35mm），該系統(tǒng)可以與市面上絕大多數(shù)的全尺寸SEM/FIB結(jié)合使用，在樣品臺上安裝和拆卸該系統(tǒng)十分簡便，只需幾分鐘。此外，由于FT-NMT03納米力學測試的獨特設(shè)計（無基座、開放式），納米力學測試體系統(tǒng)可以和電子背向散射衍射儀（EBSD）和掃描透射電子顯微鏡（STEM）技術(shù)兼容。利用納米力學測試，研究人員可揭示材料內(nèi)部缺陷、應(yīng)力分布等關(guān)鍵信息。重慶紡織納米力學測試廠家直銷

納米力學測試技術(shù)的發(fā)展推動了納米材料和納米器件的性能優(yōu)化。吉林納米力學測試技術(shù)

微納米材料力學性能測試系統(tǒng)可移動范圍：250mm x 150mm；步長分辨率：50nm；Encoder 分辨率：500nm；較大移動速率：30mm/S；Z stage。可移動范圍：50mm；步長分辨率：3nm；較大移動速率：1.9mm/S。原位成像掃描范圍。XY 方向：60μm x 60μm；Z 方向：4μm；成像分辨率：256 x 256 像素點；掃描速率：3Hz；壓頭原位的位置控制精度：＜+/-10nm；較大樣品尺寸：150mm- 200mm。納米壓痕試驗：測試硬度及彈性模量（包括隨著連續(xù)壓入深度的變化獲得硬度和彈性模量的分布）以及斷裂韌性、蠕變、應(yīng)力釋放等。 納米劃痕試驗：獲得摩擦系數(shù)、臨界載荷、膜基結(jié)合性質(zhì)。納米摩擦磨損試驗 ：評價抗磨損能力。在壓痕、劃痕、磨損前后的SPM原位掃描探針成像: 獲得微區(qū)的形貌組織結(jié)構(gòu)。吉林納米力學測試技術(shù)