納米云紋法,云紋法是在20世紀(jì)60年代興起的物體表面全場變形的測量技術(shù)。從上世紀(jì)80年代以來,高頻率光柵制作技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。目前高精度云紋干涉法通常使用的高密度光柵頻率已達(dá)到600~2400線mm,其測量位移靈敏度比傳統(tǒng)的云紋法高出幾十倍甚至上百倍。近年來云紋法的研究熱點(diǎn)已進(jìn)入微納尺度的變形測量,并出現(xiàn)與各種高分辨率電鏡技術(shù)、掃描探針顯微技術(shù)相結(jié)合的趨勢。顯微幾何云紋法,在光學(xué)顯微鏡下通過調(diào)整放大倍數(shù)將柵線放大到頻率小于40線/mm,然后利用分辨率高的感光膠片分別記錄變形前后的柵線,兩種柵線干涉后即可獲得材料表面納米級(jí)變形的云紋。納米力學(xué)測試在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,助力研究細(xì)胞力學(xué)行為,揭示疾病發(fā)生機(jī)制。深圳微電子納米力學(xué)測試模塊
采用磁力顯微鏡觀察Sm2Co17基永磁材料表面的波紋磁疇和條狀磁疇結(jié)構(gòu);使用摩擦力顯微鏡對(duì)計(jì)算機(jī)磁盤表面的摩擦特性進(jìn)行試:利用靜電力顯微鏡測量技術(shù),依靠輕敲模式(Tapping mode)和抬舉模式(Lift mode),用相位成像測量有機(jī)高分子膜-殼聚糖膜(CHI)的表面電荷密度空間分布等等除此之外,近年來,SPM還用于測量化學(xué)鍵、納米碳管的強(qiáng)度,以及納米碳管操縱力方面的測量。利用透射電子顯微鏡和原子力顯微鏡原位加載,觀測單一納米粒子鏈的力學(xué)屬性和納觀斷裂,采用掃描電鏡、原子力顯微鏡對(duì)納米碳管的拉伸過程及拉伸強(qiáng)度進(jìn)行測等:基于原子力顯微鏡提出一種納米級(jí)操縱力的同步測量方法,進(jìn)而應(yīng)用該方法,成功測量出操縱、切割碳納米管的側(cè)向力信息等。這些SFM技術(shù)為研究納米粒子/分子、基體與操縱工具之間的相互作用提供較直接的原始力學(xué)信息和實(shí)驗(yàn)結(jié)果。四川工業(yè)納米力學(xué)測試定制納米力學(xué)測試可用于研究納米顆粒在膠體、液態(tài)等介質(zhì)中的相互作用行為。
原位納米壓痕儀的主要功能為:安裝于SEM或者FIB中,可以對(duì)金屬材料、陶瓷材料、生物材料及復(fù)合材料等各種材料精確施加載荷、檢測形變量。在電鏡下進(jìn)行壓痕、壓縮、彎曲、劃痕、拉伸和疲勞等力學(xué)性能測試;此外,還可研究材料在動(dòng)態(tài)力、熱等多場耦合條件下結(jié)構(gòu)與性能的關(guān)系。ALEMNIS原位納米壓痕儀可與多種分析設(shè)備聯(lián)用,如掃描電鏡、光學(xué)顯微鏡和同步輻射裝置等,并實(shí)現(xiàn)多種應(yīng)用場景。該原位納米壓痕儀是一款能實(shí)現(xiàn)本征位移控制模式的壓痕儀。依托于該設(shè)備的精巧設(shè)計(jì)及精細(xì)加工,對(duì)于不同的應(yīng)用場景,其均具有靈活性、精確性和可重復(fù)性。
對(duì)納米元器件的電測量——電壓、電阻和電流——都帶來了一些特有的困難,而且本身容易產(chǎn)生誤差。研發(fā)涉及量子水平上的材料與元器件,這也給人們的電學(xué)測量工作帶來了種種限制。在任何測量中,靈敏度的理論極限是由電路中的電阻所產(chǎn)生的噪聲來決定的。電壓噪聲[1]與電阻的方根、帶寬和一定溫度成正比。高的源電阻限制了電壓測量的理論靈敏度[2]。雖然完全可能在源電阻抗為1W的情況下對(duì)1mV的信號(hào)進(jìn)行測量,但在一個(gè)太歐姆的信號(hào)源上測量同樣的1mV的信號(hào)是現(xiàn)實(shí)的。通過納米力學(xué)測試,可以測量材料的硬度、彈性模量、粘附性等關(guān)鍵參數(shù)。
在黏彈性力學(xué)性能測試方面,Yuya 等發(fā)展了AFAM 黏彈性力學(xué)性能測試的理論基礎(chǔ)。隨后,Killgore 等將單點(diǎn)測試拓展到成像測試,對(duì)二元聚合物的黏彈性力學(xué)性能進(jìn)行了定量化成像,獲得了存儲(chǔ)模量和損耗模量的分布圖。Hurley 等發(fā)展了一種不需要進(jìn)行中間的校準(zhǔn)測試過程而直接測量損耗因子的方法。Tung 等采用二維流體動(dòng)力學(xué)函數(shù),考慮探針接近樣品表面時(shí)的阻尼和附加質(zhì)量效應(yīng)以及與頻率相關(guān)的流體動(dòng)力載荷,對(duì)黏彈性阻尼損耗測試進(jìn)行了修正。周錫龍等研究了探針不同階模態(tài)對(duì)黏彈性測量靈敏度的影響,提出了一種利用軟懸臂梁的高階模態(tài)進(jìn)行黏彈性力學(xué)性能測試的方法。納米力學(xué)測試可以幫助研究人員了解納米材料的疲勞行為,從而改進(jìn)納米材料的設(shè)計(jì)和制備工藝。廣東汽車納米力學(xué)測試廠家
在進(jìn)行納米力學(xué)測試時(shí),需要特別注意樣品的制備和處理過程,以避免引入誤差。深圳微電子納米力學(xué)測試模塊
縱觀納米測量技術(shù)發(fā)展的歷程,它的研究主要向兩個(gè)方向發(fā)展:一是在傳統(tǒng)的測量方法基礎(chǔ)上,應(yīng)用先進(jìn)的測試儀器解決應(yīng)用物理和微細(xì)加工中的納米測量問題,分析各種測試技術(shù),提出改進(jìn)的措施或新的測試方法;二是發(fā)展建立在新概念基礎(chǔ)上的測量技術(shù),利用微觀物理、量子物理中較新的研究成果,將其應(yīng)用于測量系統(tǒng)中,它將成為未來納米測量的發(fā)展趨向。但納米測量中也存在一些問題限制了它的發(fā)展。建立相應(yīng)的納米測量環(huán)境一直是實(shí)現(xiàn)納米測量亟待解決的問題之一,而且在不同的測量方法中需要的納米測量環(huán)境也是不同的。深圳微電子納米力學(xué)測試模塊