探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。下面我們來了解下利用探針臺進行在片測試的一些相關(guān)問題,首先為什么需要進行在片測試?因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化測試,在片進行自動化測試成本效益高而且更快。一個典型的在片測試系統(tǒng),主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,線纜,探針,探針定位器,探針臺,校準設(shè)備及軟件,電源偏置等。探針臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當或盲目調(diào)整造成的。重慶芯片探針臺哪里有
探針臺概要:晶圓探針臺是在半導體開發(fā)和制造過程中用于晶片電氣檢查的設(shè)備。在電氣檢查中,通過探針或探針卡向晶片上的各個設(shè)備提供來自測量儀器或測試器的測試信號,并返回來自設(shè)備的響應信號。在這種情況下,晶片探測器用于輸送晶片并接觸設(shè)備上的預定位置。探針臺是檢測芯片的重要設(shè)備,在芯片的設(shè)計驗證階段,主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設(shè)計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進行,主要用到的設(shè)備為測試機和探針臺。北京高溫探針臺加工廠家探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統(tǒng)顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒有很多待測器件需要測量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動探針臺。該類探針臺的優(yōu)點之一是只需要很少的培訓,易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓和設(shè)置時間的電子設(shè)備、PC或軟件。
精細探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢:先進應力控制技術(shù)亦是必須的。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷,在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負面效應。以先進工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試,以低沖擊的探針卡,避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均,因此能動態(tài)控制探針強度也是很重要的;若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細的移動控制,即可提升晶圓翻面時的探測精確度,使精細的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào),以提高精確度,并縮短索引的時間。某些針尖位置高的扎不上AL層,使測試時這些針上電路不通。
隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個半導體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場對自動化探針臺需求旺盛。自動化探針臺搭配測試機能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學參數(shù)進行測試,根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量,并指導下一道工序。重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命。浙江智能探針臺多少錢
無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,工作臺都是其主要的部分。重慶芯片探針臺哪里有
探針卡沒焊到位,是因為焊錫時針受熱要稍微的收縮,使針尖偏離壓點區(qū),而針虛焊和布線斷線或短路,測試時都要測不穩(wěn),所以焊針時,應憑自己的經(jīng)驗,把針尖離壓點中心稍微偏一點,焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。技術(shù)員平時焊完卡后應注意檢查探針卡的質(zhì)量如何,把背面的突起物和焊錫線頭剪平,否則要扎傷AL層,造成短路或斷路,而操作工也應在測試裝卡前檢查一下。針尖有鋁粉:測大電流時,針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮氣吹干,同時測試時邊測邊吹氮氣,以減少針尖上的AL粉。重慶芯片探針臺哪里有