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探針臺基本參數(shù)
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  • 齊全
探針臺企業(yè)商機

探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺??v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:平面電機型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進行,主要用到的設(shè)備為測試機和探針臺。北京手動探針臺供應(yīng)

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半導體生產(chǎn)過程中的探測,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當制造完成要進行封裝前,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能;3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,即進入晶圓探測階段,此時需要用復雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應(yīng)的晶圓后,探針臺會將晶圓向上挪動,使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,以進行探測。當測試完成,則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面,如此周而復始地循環(huán)著。上海勤確科技有限公司四川半自動探針臺服務(wù)上海勤確科技有限公司與廣大客戶攜手共創(chuàng)碧水藍天。

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據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2020年及2021年,全球半導體測試設(shè)備市場規(guī)?;?qū)⒎謩e達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內(nèi)半導體技術(shù)的發(fā)展,多個晶圓廠及實驗室的建立,國內(nèi)探針臺市場規(guī)模2019年約為10.25億元,2022年將增長到15.69億元。隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備,在整個半導體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場對自動化探針臺需求旺盛。

探針臺需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強行拉動動子,以免造成定子及動子的損傷。平面電機應(yīng)使用在環(huán)境溫度15~25℃,相對濕度小于50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5℃,氣壓為0.4±0.04MPa。相對于平面電機工作臺,絲杠導軌結(jié)構(gòu)的工作臺結(jié)構(gòu)組成較復雜,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。在探針臺上裝上打點器,打點器根據(jù)系統(tǒng)的信號來判斷是否給芯片打點標記。

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針尖有鋁粉:測大電流時,針尖上要引起多AL粉,使電流測不穩(wěn),所以需要經(jīng)常用灑精清洗探針并用氮氣吹干,同時測試時邊測邊吹氮氣,以減少針尖上的AL粉。針尖有墨跡:測試時打點器沒有調(diào)整好,尼龍絲碰到針尖上,針尖上沾上墨跡,然后針尖與壓點接觸時,壓點窗口上墨跡沾污,使片子與AL層接觸不良,參數(shù)通不過,還有對后續(xù)封裝壓焊有影響,使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,所以平時裝打點器時,不要把打點器裝得太前或太后和太高或太低,而應(yīng)該使尼龍絲與硅片留有一定距離,然后靠表面漲力使墨水打到管芯中心,如已經(jīng)沾上墨跡,要立即用酒精擦干凈,并用氮氣吹干。探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),負責晶圓的輸送與定位。北京手動探針臺供應(yīng)

系統(tǒng)在測試每個芯片的時候?qū)π酒暮脡呐c否進行判斷,發(fā)出合格與不合格的信號。北京手動探針臺供應(yīng)

半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。北京手動探針臺供應(yīng)

上海勤確科技有限公司在光纖耦合對準系統(tǒng),硅光芯片耦合系統(tǒng),直流/射頻探針臺,非標耦合對準系統(tǒng)一直在同行業(yè)中處于較強地位,無論是產(chǎn)品還是服務(wù),其高水平的能力始終貫穿于其中。公司成立于2019-03-15,旗下駿河精機,Newport,Thorlabs,上海勤確科技,已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。上海勤確科技致力于構(gòu)建電子元器件自主創(chuàng)新的競爭力,將憑借高精尖的系列產(chǎn)品與解決方案,加速推進全國電子元器件產(chǎn)品競爭力的發(fā)展。

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