半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測,可略分為三大類:1.參數(shù)探測:提供制造期間的裝置特性測量;2.晶圓探測:當(dāng)制造完成要進行封裝前,在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能;3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest):在出貨給顧客前,對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,即進入晶圓探測階段,此時需要用復(fù)雜的機器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,精確度約在±2.0μm之間。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應(yīng)的晶圓后,探針臺會將晶圓向上挪動,使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,以進行探測。當(dāng)測試完成,則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面,如此周而復(fù)始地循環(huán)著。上海勤確科技有限公司探針卡使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差,容易引起短路。河南全自動探針臺配件廠家
半自動型:chuck尺寸800mm/600mm;X,Y電動移動行程200mm/150mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm;可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)6~8顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2";可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。電動型:chuck尺寸1200mm,平坦度土1u(不銹鋼或鍍金);X,Y電動移動行程300mmx300mm;chuck粗調(diào)升降9mm,微調(diào)升降16mm,微調(diào)精度土1u;可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微鏡;針座擺放個數(shù)8~12顆;顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2“;材質(zhì):花崗巖臺面+不銹鋼;可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)品。遼寧射頻探針臺價格探針卡焊完后使針尖剛好回到壓點中心,同時針焊好后應(yīng)檢查針尖的位置,檢查針的牢固性。
下面我們來簡單講講選擇探針臺設(shè)備時需要注意事項:一、機械加工精度;二、電學(xué)量測精度三、環(huán)境要求,如:真空環(huán)境、高溫、低溫環(huán)境、磁場環(huán)境及其它。四、光學(xué)成像;五、自動化控制精度??傮w而言,具有清晰并高景深的微觀成像,再通過準確的探針裝置對探針進行多方向移動,對準量測點,進行信號加載,通過高精度線纜將所需測試數(shù)據(jù)傳輸至量測儀表,以達到所需得到的分析數(shù)據(jù),所以,如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù),從成像到點針,再到數(shù)據(jù)傳輸每項步驟都會起到重要的作用,另外振動對精度也有一定的影響。
探針卡沒焊好:1.探針卡針焊得不到位;2.基板上銅箔剝落,針焊接不牢固,或焊錫沒有焊好而造成針虛焊;3.探針卡布線斷線或短路;背面有突起物,焊錫線頭針尖磨平:1.針在使用很長時間后尖正常損耗;2.操作工用過粗的砂子;3.砂針尖時用力過猛;4.砂得時間過長;針尖如磨平,使針尖偏離壓點,測試無法通過,針尖接觸面大,而接觸電阻大影響參數(shù)測試,所以平時如果在測片子之前,先拿上卡到顯微鏡下檢查針尖有否磨平,如已磨平應(yīng)及時換針,操作工在砂針尖時注意技能,應(yīng)輕輕打磨針尖,而不致于磨平針尖。上海勤確科技有限公司服務(wù)至上,堅持優(yōu)異服務(wù)、多年來,堅持科學(xué)管理規(guī)范、完善服務(wù)標(biāo)準。
12英寸晶圓在結(jié)構(gòu)上具有更高的效率,以200mm工藝為例,在良率100%的情況下,可出88個完整的晶粒,理論上因方塊切割所造成的邊緣浪費率為23%(約有20個晶粒因缺角破損而無法使用);而若以300mm工藝進行切割,則產(chǎn)出效率將更驚人,可產(chǎn)出193個完整的晶粒,會浪費19%的晶圓面積(36個不完整晶粒)。此外,12英寸廠的規(guī)模經(jīng)濟優(yōu)勢也不容小視;300mm的建廠成本與200mm的建廠成本比值約為1.5,而晶圓廠建廠成本與晶圓面積的比值卻少于2.25,這意味著只要多投入1.5倍的建廠成本,即可多生產(chǎn)2.25倍的晶粒!少少的邊際投入即可獲取的收益,約可節(jié)省33%的成本;如此高報酬的投資效益隨著技術(shù)的發(fā)展而讓人們受益。如果是合格的芯片,打點器不動作。安徽射頻探針臺報價
平面電機由定子和動子組成,它和傳統(tǒng)的步進電機相比其特殊性就是將定子展開。河南全自動探針臺配件廠家
錸鎢探針指的是采用含錸3%的錸鎢合金絲打造而成的探針。中鎢在線提供好的錸鎢探針產(chǎn)品。鎢作為一種硬度強、耐高溫的金屬材料,常被用于燈絲、電極、熱電偶或者探測針等等,但鎢本身存在易脆和可塑性低的問題,這減小了其使用過程中的壽命。為降低鎢的脆性以及提高其可塑性,傳統(tǒng)的方法通過在鎢內(nèi)添加稀有金屬形成鎢基合金增加其性能。在鎢內(nèi)添加錸,可以發(fā)生“錸塑化效應(yīng)”,增加鎢的可塑性。錸鎢合金具有高熔點、厲害度、高硬度、高塑性、高再結(jié)晶溫度、高電阻率,低蒸氣壓、低電子逸出功和低塑性脆性轉(zhuǎn)變溫度等一系列優(yōu)良性能。河南全自動探針臺配件廠家