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探針臺(tái)基本參數(shù)
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  • 齊全
探針臺(tái)企業(yè)商機(jī)

磁場(chǎng)探針臺(tái)主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測(cè)試,能夠提供磁場(chǎng)或變溫環(huán)境,并進(jìn)行高精度的直流/射頻測(cè)量。我們生產(chǎn)各類(lèi)磁場(chǎng)探針臺(tái),穩(wěn)定性強(qiáng)、功能多樣、可升級(jí)擴(kuò)展,適用于各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)的實(shí)驗(yàn)研究和生產(chǎn)。詳細(xì)參數(shù):二維磁場(chǎng)探針臺(tái),包含兩組磁鐵,可同時(shí)提供垂直與面內(nèi)磁場(chǎng);面內(nèi)磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調(diào)整以獲得大的磁場(chǎng),兼容性強(qiáng);大兼容7組探針(4組RF,3組DC同時(shí)測(cè)試使用);Y軸提供大行程位移裝置,在不移動(dòng)探針情況下快速抽拉更換樣品;配備樣品臺(tái)傾斜微調(diào)旋鈕,確保樣品平面平行于面內(nèi)磁場(chǎng)方向;至多支持7組探針同時(shí)放置:直流探針(3組)+微波探針(4組);XY軸位移行程±12.5mm,T軸旋轉(zhuǎn)±5°;面內(nèi)磁場(chǎng)單獨(dú)施加時(shí),磁場(chǎng)垂直分量?jī)?yōu)于0.025%。上海勤確科技有限公司和客戶攜手誠(chéng)信合作,共創(chuàng)輝煌!陜西全自動(dòng)探針臺(tái)哪里有

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“精確度”是探測(cè)儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個(gè)層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測(cè)到小型墊片,載臺(tái)系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動(dòng)晶圓托盤(pán),并在晶圓移動(dòng)的過(guò)程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對(duì)位;其次,必須具備動(dòng)態(tài)監(jiān)控機(jī)制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定性;后,必須對(duì)高產(chǎn)出的進(jìn)階移動(dòng)做動(dòng)態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果。整體而言,針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,為了強(qiáng)化更小晶粒定位的精確性,需要?jiǎng)討B(tài)的Z軸輔助校正工作,以避免無(wú)謂的產(chǎn)出損失。北京射頻探針臺(tái)供應(yīng)商探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝等行業(yè)的測(cè)試設(shè)備。

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據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),2020年及2021年,全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)?;?qū)⒎謩e達(dá)到52.2億美元及56.1億美元。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,多個(gè)晶圓廠及實(shí)驗(yàn)室的建立,國(guó)內(nèi)探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模2019年約為10.25億元,2022年將增長(zhǎng)到15.69億元。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械、光學(xué)、物理、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn)。探針臺(tái)屬于重要的半導(dǎo)體測(cè)試裝備,在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節(jié)起著重要作用,是晶圓廠和元器件封測(cè)企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)自動(dòng)化探針臺(tái)需求旺盛。

手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見(jiàn)的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺(tái)為例):探針臺(tái)載物臺(tái)平整度:5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測(cè)物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm,并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微調(diào)控制臺(tái)面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤(pán)可選,卡盤(pán)平整度:5μm,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤(pán)可0-360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤(pán)X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為150mmor200mm,移動(dòng)精度為1μm載物臺(tái)具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。探針尖接觸電阻即探針尖與焊點(diǎn)之間接觸時(shí)的層間電阻。

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手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會(huì)碰到一些問(wèn)題,下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)。探針尖如果氧化,接觸電阻變大。陜西全自動(dòng)探針臺(tái)哪里有

無(wú)論是全自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)還是自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),工作臺(tái)都是其主要的部分。陜西全自動(dòng)探針臺(tái)哪里有

盡管半導(dǎo)體測(cè)試探針國(guó)產(chǎn)化迫在眉睫,但從技術(shù)的角度來(lái)看,要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易。業(yè)內(nèi)人士指出,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體測(cè)試探針還只能用于要求不高的測(cè)試需求,比如可靠性測(cè)試國(guó)產(chǎn)探針可以替代很多,但功能性測(cè)試和性能測(cè)試還有待突破。彈簧測(cè)試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力,涉及精微加工設(shè)備、經(jīng)驗(yàn)、工藝能力缺一不可。值得注意的是,由于半導(dǎo)體測(cè)試探針市場(chǎng)一直被國(guó)外廠商占據(jù),同時(shí)也實(shí)施了技術(shù)封鎖,國(guó)內(nèi)并沒(méi)有相應(yīng)的技術(shù)人才,包括生產(chǎn)人員和設(shè)計(jì)人員都缺乏。國(guó)內(nèi)大部分測(cè)試探針廠商基本不具備全自動(dòng)化生產(chǎn)制造能力。陜西全自動(dòng)探針臺(tái)哪里有

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