半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)壁壘高。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,復(fù)雜程度與日俱增,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用光學(xué)、物理、化學(xué)等科學(xué)技術(shù),具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中,從半導(dǎo)體單晶片到制成成品,須經(jīng)歷數(shù)十甚至上百道工序。為了確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠,并有高的成品率,根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況,對所有工藝步驟都要有嚴格的具體要求。因而,在生產(chǎn)過程中必須建立相應(yīng)的系統(tǒng)和精確的監(jiān)控措施,首先要從半導(dǎo)體工藝檢測著手。探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測試。山東智能探針臺供應(yīng)商
12英寸晶圓在結(jié)構(gòu)上具有更高的效率,以200mm工藝為例,在良率100%的情況下,可出88個完整的晶粒,理論上因方塊切割所造成的邊緣浪費率為23%(約有20個晶粒因缺角破損而無法使用);而若以300mm工藝進行切割,則產(chǎn)出效率將更驚人,可產(chǎn)出193個完整的晶粒,會浪費19%的晶圓面積(36個不完整晶粒)。此外,12英寸廠的規(guī)模經(jīng)濟優(yōu)勢也不容小視;300mm的建廠成本與200mm的建廠成本比值約為1.5,而晶圓廠建廠成本與晶圓面積的比值卻少于2.25,這意味著只要多投入1.5倍的建廠成本,即可多生產(chǎn)2.25倍的晶粒!少少的邊際投入即可獲取的收益,約可節(jié)省33%的成本;如此高報酬的投資效益隨著技術(shù)的發(fā)展而讓人們受益。重慶全自動探針臺生產(chǎn)在探針臺上裝上打點器,打點器根據(jù)系統(tǒng)的信號來判斷是否給芯片打點標記。
探針卡沒焊好:1.探針卡針焊得不到位;2.基板上銅箔剝落,針焊接不牢固,或焊錫沒有焊好而造成針虛焊;3.探針卡布線斷線或短路;背面有突起物,焊錫線頭針尖磨平:1.針在使用很長時間后尖正常損耗;2.操作工用過粗的砂子;3.砂針尖時用力過猛;4.砂得時間過長;針尖如磨平,使針尖偏離壓點,測試無法通過,針尖接觸面大,而接觸電阻大影響參數(shù)測試,所以平時如果在測片子之前,先拿上卡到顯微鏡下檢查針尖有否磨平,如已磨平應(yīng)及時換針,操作工在砂針尖時注意技能,應(yīng)輕輕打磨針尖,而不致于磨平針尖。
半導(dǎo)體測試是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的重要環(huán)節(jié),其測試設(shè)備包括測試機、分選機、探針臺。其中,測試機是檢測芯片功能和性能的專業(yè)設(shè)備,分選機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來的專業(yè)設(shè)備,與測試機共同實現(xiàn)批量自動化測試。受益于國內(nèi)封裝測試業(yè)產(chǎn)能擴張,半導(dǎo)體測試設(shè)備市場快速發(fā)展。作為半導(dǎo)體封測行業(yè)三大設(shè)備之一,探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的晶圓、芯片等器件的測試,研發(fā)難度大,國產(chǎn)化率低,進口依賴度高,它的品質(zhì)和精度直接決定測試可靠性與否。自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。
晶圓探針臺還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測試電路。一些公司從這些劃線測試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當特定芯片的所有測試圖案都通過時,它的位置會被記住,以便以后在IC封裝過程中使用。有時,芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)(即閃存IC);如果它沒有通過某些測試模式,則可以使用這些備用資源。如果故障管芯的冗余是不可能的,則管芯被認為有故障并被丟棄。未通過電路通常在芯片中間用一個小墨水點標記,或者通過/未通過信息存儲在一個名為wafermap的文件中。該地圖通過使用bins對通過和未通過的die進行分類。然后將bin定義為好或壞的裸片。探針材質(zhì)、探針直徑、光束長度、和尖錐長度都在決定頂端壓力時起重要的作用。江西自動探針臺價格
探針尖磨損和污染也會對測試結(jié)果造成極大的負面影響。山東智能探針臺供應(yīng)商
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。山東智能探針臺供應(yīng)商