探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)芯片進(jìn)行科研分析，抽查測(cè)試等用途。探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。探針臺(tái)可編程承片臺(tái)則安裝在動(dòng)子之上。射頻探針臺(tái)生產(chǎn)

手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開(kāi)啟真空閥門控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測(cè)試設(shè)備開(kāi)始測(cè)試。常見(jiàn)故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí)，可能會(huì)碰到一些問(wèn)題，下表列舉了常見(jiàn)的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)。山西射頻探針臺(tái)生產(chǎn)廠家探針卡使芯片與封裝后成品管腳焊接質(zhì)量差，容易引起短路。

晶圓測(cè)試基本的一點(diǎn)就是：晶圓測(cè)試必須能夠辨別芯片的好壞，并使合格芯片繼續(xù)進(jìn)入下面的封裝工藝。為了確保芯片功能和成品率的有效測(cè)試，封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索，進(jìn)而找到高精度、高效率和低成本的測(cè)試方法，并運(yùn)用新的組裝工藝要求對(duì)晶圓片進(jìn)行探測(cè)，這些要求將引起設(shè)備和工藝過(guò)程的重大變化。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)，從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)（低溫探針臺(tái)），RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)。

近來(lái)出現(xiàn)的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針，它結(jié)合了探針臺(tái)準(zhǔn)確性和可重復(fù)性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類似于探針臺(tái)探針夾具——接地-信號(hào)-接地（GSG）或者接地-信號(hào)（GS）——一端帶有pogo-pin探針，另一端帶有典型的同軸連接器。這些新型探針可以達(dá)到40GHz，回波損耗優(yōu)于10dB。探針的針距范圍在800微米到1500微米之間，這些探針通常使用的終端是3.5毫米母頭或2.92毫米母頭同軸連接器。與探針臺(tái)一樣，可以在特定的測(cè)試區(qū)域中設(shè)計(jì)一個(gè)影響小的焊盤端口，或者可以將探針?lè)胖迷诳拷M件的端子或微帶傳輸線上。探針臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。

探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開(kāi)，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。圓片移動(dòng)到下一個(gè)芯片的位置，這種方法可以讓圓片上的每一個(gè)芯片都經(jīng)過(guò)測(cè)試。吉林高溫探針臺(tái)

探針卡虛焊和布線斷線或短路，測(cè)試時(shí)都要測(cè)不穩(wěn)。射頻探針臺(tái)生產(chǎn)

射頻測(cè)試探針必須具有與測(cè)試點(diǎn)相匹配的阻抗。通常要做的是在設(shè)計(jì)中各個(gè)預(yù)先計(jì)劃好的測(cè)試點(diǎn)焊接射頻同軸電纜（尾纖）。這有助于確保足夠的阻抗匹配，并且測(cè)試點(diǎn)可以選在對(duì)整體設(shè)計(jì)性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設(shè)計(jì)上，從而減少侵入性探測(cè)。高性能測(cè)試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達(dá)毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴，且無(wú)法持續(xù)訪問(wèn)組成元件的電路。因此，它們?cè)诖笕萘康臏y(cè)試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制，更適合于原型設(shè)計(jì)和研發(fā)。射頻探針臺(tái)生產(chǎn)