近來出現(xiàn)的一種選擇是使用同軸射頻電纜安裝探針，它結(jié)合了探針臺準確性和可重復性的功能以及用探針可及性的功能。這些探針的邊緣類似于探針臺探針夾具——接地-信號-接地（GSG）或者接地-信號（GS）——一端帶有pogo-pin探針，另一端帶有典型的同軸連接器。這些新型探針可以達到40GHz，回波損耗優(yōu)于10dB。探針的針距范圍在800微米到1500微米之間，這些探針通常使用的終端是3.5毫米母頭或2.92毫米母頭同軸連接器。與探針臺一樣，可以在特定的測試區(qū)域中設計一個影響小的焊盤端口，或者可以將探針放置在靠近組件的端子或微帶傳輸線上。無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，工作臺都是其主要的部分。貴州智能探針臺

據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2020年及2021年，全球半導體測試設備市場規(guī)?；?qū)⒎謩e達到52.2億美元及56.1億美元。隨著國內(nèi)半導體技術(shù)的發(fā)展，多個晶圓廠及實驗室的建立，國內(nèi)探針臺市場規(guī)模2019年約為10.25億元，2022年將增長到15.69億元。隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展，半導體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小，復雜程度與日俱增，生產(chǎn)半導體產(chǎn)品所需的制造設備需要綜合運用機械、光學、物理、化學等學科技術(shù)，具有技術(shù)壁壘高、制造難度大及研發(fā)投入高等特點。探針臺屬于重要的半導體測試裝備，在整個半導體產(chǎn)業(yè)的多個環(huán)節(jié)起著重要作用，是晶圓廠和元器件封測企業(yè)的重要設備之一。隨著自動化技術(shù)的飛速發(fā)展，市場對自動化探針臺需求旺盛。貴州智能探針臺探針臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié)，負責晶圓的輸送與定位。

探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復雜，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯，這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應用。

探針（探針卡）：待測芯片需要測試探針的連接，才能與測試儀器建立連接。常見的有普通DC測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件，探針臂應與探針尖匹配。探針夾具及電纜組件：探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器（定位器）：探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上，它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當?shù)奈恢?。一旦固定，操縱器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端，并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運動。系統(tǒng)在測試每個芯片的時候?qū)π酒暮脡呐c否進行判斷，發(fā)出合格與不合格的信號。

高精度探針臺：目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS，QPU和TTG相關技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1：OTS-近的位置對正系統(tǒng)（光學目標對準）OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來源于精密的度量技術(shù)。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學對準系統(tǒng)。特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺（四方型系統(tǒng)）為了有效的達到接觸位置的精度，硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機械轉(zhuǎn)換裝置（QPU），達到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。隨著探針開始接觸并逐漸深入焊點氧化物和污染物的表層，接觸電阻減小而電流流動迅速開始。貴州智能探針臺

探針尖接觸電阻即探針尖與焊點之間接觸時的層間電阻。貴州智能探針臺

探針臺是檢測芯片的重要設備，在芯片的設計驗證階段，主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術(shù)指標，在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查，只有通過設計驗證的產(chǎn)品型號才會量產(chǎn)。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)ｉT的測試代工廠進行，主要用到的設備為測試機和探針臺。半導體行業(yè)向來有“一代設備，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說法。半導體設備價值普遍較高，一條先進半導體生產(chǎn)線投資中，設備價值約占總投資規(guī)模的75%以上。隨著全球半導體行業(yè)市場規(guī)模不斷擴大，半導體設備市場也呈增長趨勢。根據(jù)SEMI統(tǒng)計，全球半導體設備銷售額從2013年的318億美元增長至2018年的645億美元，年復合增長率約為15.2%，但受到半導體行業(yè)景氣度下滑及宏觀經(jīng)濟環(huán)境影響，2019年、2020年一季度增長有所下降，但預計疫病過后，將恢復增長。貴州智能探針臺