銅酸蝕刻液是半導(dǎo)體和顯示技術(shù)中一類(lèi)重要的原材料。半導(dǎo)體、薄膜晶體管液晶顯示器),有機(jī)發(fā)光半導(dǎo)體)等微電路原件首先由銅、鉬或其合金在玻璃基板或者絕緣層上形成一定厚度的膜層,再用光刻膠形成圖案,然后用銅酸蝕刻液將圖案外的金屬蝕刻掉,再用去光阻液將光刻膠去掉,以進(jìn)行金屬膜層的圖案化,形成電極電路。隨著顯示器的大型化以及畫(huà)質(zhì)高清化,需要電阻率更低的金屬來(lái)做電子傳輸導(dǎo)線(xiàn),目前銅金屬可以滿(mǎn)足電導(dǎo)率高、價(jià)格相對(duì)較低等要求,但由于其與玻璃基板的粘附性較差以及銅元素易于向氧硅或者氮硅膜內(nèi)進(jìn)行擴(kuò)散,所以會(huì)在其與玻璃之間加一層很薄的緩沖層,一般選用鉬或者鉬合金。天馬微電子用的哪家的BOE蝕刻液?什么是BOE蝕刻液供應(yīng)
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司研發(fā)中心擁有先進(jìn)的科研生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備,專(zhuān)業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)。致力于電子領(lǐng)域環(huán)保、節(jié)能、環(huán)境友好化學(xué)品的研究開(kāi)發(fā);并根據(jù)客戶(hù)的個(gè)性化需求量身定做整套解決方案力求客戶(hù)100%滿(mǎn)意。公司以蘇州大學(xué)、蘇州科技大學(xué)、上海交通大學(xué)等高校研發(fā)隊(duì)伍為依托,對(duì)新技術(shù)、新設(shè)備的研究進(jìn)行精細(xì)化管理,以達(dá)“技術(shù)求新,產(chǎn)品求精”,開(kāi)發(fā)能夠提升人類(lèi)生活品質(zhì)的新型電子產(chǎn)品配套材料為目標(biāo),把公司建成國(guó)內(nèi)前列和國(guó)際前列的新型電子化學(xué)品材料專(zhuān)業(yè)制造企業(yè)。 蘇州市高新區(qū)滸關(guān)工業(yè)園華橋路155號(hào) 蘇州市高新區(qū)滸關(guān)工業(yè)園華橋路155號(hào)公司地址:蘇州市高新區(qū)滸關(guān)工業(yè)園華橋路155號(hào) 浙江如何分類(lèi)BOE蝕刻液銷(xiāo)售廠蘇州口碑好的BOE蝕刻液公司。
蝕刻(etching)是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)可以分為濕蝕刻(wetetching)和干蝕刻(dryetching)兩類(lèi)。濕蝕刻就是利用合適的化學(xué)溶液腐蝕去除材質(zhì)上未被光阻覆蓋(感光膜)的部分,達(dá)到一定的雕刻深度。蝕刻精度高,則可以完成精度要求更高的精細(xì)零件的加工,擴(kuò)大蝕刻應(yīng)用的范圍。目前已經(jīng)使用的蝕刻液類(lèi)型有六種類(lèi)型:酸性氯化銅,堿性氯化銅,氯化鐵,過(guò)硫酸銨,硫酸/鉻酸,硫酸/雙氧水蝕刻液。常用的化學(xué)藥水,硝酸、氫氟酸等。
Buffered Oxide Etch,BOE就是buffer oxide etch, B.O.E 緩沖蝕刻液 BOE是HF與NH4F依不同比例混合而成。6:1 BOE蝕刻即表示49%HF水溶液:40%NH4F水溶液=1:6(體積比)的成分混合而成??涛g速度約10nm每秒。HF為主要的蝕刻液,NH4F則作為緩沖劑使用。利用NH4F固定〔H+〕的濃度,使之保持一定的蝕刻率。HF會(huì)浸蝕玻璃及任何含硅石的物質(zhì),對(duì)皮膚有強(qiáng)烈的腐蝕性,不小心被濺到,應(yīng)用大量水沖洗。
BOE(Buffered Oxide Etch),緩沖氧化物刻蝕液。由氫氟酸(49%)與水或氟化銨與水混合而成。 友達(dá)光電用的哪家的BOE蝕刻液?
硝酸是一種強(qiáng)氧化性、腐蝕性的強(qiáng)酸。硝酸易溶于水,常溫下其溶液無(wú)色透明。其不同濃度水溶液性質(zhì)有別,市售濃硝酸為恒沸混合物,質(zhì)量分?jǐn)?shù)為(約16mol/L),質(zhì)量分?jǐn)?shù)足夠大(市售濃度為95%以上)的,稱(chēng)為發(fā)煙硝酸。硝酸易見(jiàn)光分解,應(yīng)在棕色瓶中于陰暗處避光保存,也可保存在磨砂外層塑料瓶中(不太建議),嚴(yán)禁與還原劑接觸?;瘜W(xué)式是HNO3,濃硝酸與濃鹽酸按體積比1:3混合可以制成具有強(qiáng)腐蝕性的王水。硝酸的酸酐是五氧化二氮(N2O5)。產(chǎn)品名稱(chēng)電子級(jí)硝酸英文名Nitricacid產(chǎn)品規(guī)格EL/UP/UP-S/UP-SS/UP-SSSCASNO7697-37-2包裝形式4L/桶、20L/桶、200L/藍(lán)圓桶、1000L/桶、槽車(chē)分子量質(zhì)保期6-12個(gè)月分子式HNO3InChIInChI=1/NO3/c2-1(3)4/q-1/p+1ECNO231-714-2。哪家BOE蝕刻液的的性?xún)r(jià)比好。江西工業(yè)級(jí)BOE蝕刻液價(jià)格
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蝕刻液再生循環(huán)系統(tǒng)在電子線(xiàn)路版(PCB)蝕刻過(guò)程中,蝕刻液中的銅含量漸漸增加。蝕刻液要達(dá)到的蝕刻效果,每公升蝕刻液需含120至180克銅及相應(yīng)分量的蝕刻鹽(NH4CI)及氨水(NH3)。要持續(xù)蝕刻液中上述各種成份的濃度水平,蝕刻用過(guò)后的(以下稱(chēng)[用后蝕刻液])溶液需不斷由添加的藥劑所取締。本系統(tǒng)將大量原本需要排放的用后蝕刻液再生還原成為可再次使用的再生蝕刻液。只需極少量的補(bǔ)充劑及氨水,補(bǔ)償因運(yùn)作時(shí)被帶走而失去的部份。從而取代蝕刻子液,既可達(dá)到蝕刻工藝的要求。什么是BOE蝕刻液供應(yīng)