2)、伺服變頻電機(jī)(3)、電機(jī)減速箱(4)、印刷品放置箱(6)、表面印刷結(jié)構(gòu)(7)、膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述主支撐架(1)上方設(shè)置有所述橫向支架(2),所述橫向支架(2)上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(jī)(3),所述伺服變頻電機(jī)(3)上方設(shè)置有所述電機(jī)減速箱(4),所述電機(jī)減速箱(4)上方安裝有印刷品傳送帶(5),所述印刷品傳送帶(5)一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱(6),所述印刷品放置箱(6)一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)上方設(shè)置有油墨放置箱(701),所述油墨放置箱(701)下方安裝有油墨加壓器(702),所述油墨加壓器(702)下方安裝有高壓噴頭(703),所述高壓噴頭(703)一側(cè)安裝有防濺射擋板(704),所述防濺射擋板(704)下方安裝有印刷輥(705),所述表面印刷結(jié)構(gòu)(7)一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)上方安裝有收卷調(diào)速器(801),所述收卷調(diào)速器(801)一側(cè)安裝有收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802),所述收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī)(802)一側(cè)安裝有輥固定架(803),所述輥固定架(803)一側(cè)安裝有膠水盛放箱(804),所述膠水盛放箱(804)下方安裝有點(diǎn)膠頭(805),所述點(diǎn)膠頭(805)下方安裝有卷邊輥(806),所述卷邊輥(806)一側(cè)安裝有膠面收卷輥(807),所述膠面剝離結(jié)構(gòu)(8)一側(cè)安裝有電加熱箱(9),所述電加熱箱。哪家剝離液的的性價(jià)比好。東莞天馬用的蝕刻液剝離液價(jià)格
光刻膠又稱光致抗蝕劑,主要由感光樹脂、增感劑和溶劑三種成分組成。感光樹脂經(jīng)光照后,在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng),使得這種材料的物理性能,特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)曝光、顯影、刻蝕、擴(kuò)散、離子注入、金屬沉積等工藝將所需的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至加工的基板上、***通過去膠剝離液將未曝光部分余下的光刻膠清洗掉,從而完成整個(gè)圖形轉(zhuǎn)移過程。在液晶面板和amoled生產(chǎn)中***使用?,F(xiàn)有的剝離液主要有兩種,分別是水性剝離液和有機(jī)剝離液,由于有機(jī)剝離液只能用于具有mo/al/mo結(jié)構(gòu)的制程中,無法用于ito/ag/ito;且乙醇胺的含量高達(dá)60%以上,有很強(qiáng)的腐蝕性,因此,常用的剝離液是水性剝離液,現(xiàn)有的水性剝離液主要成分為有機(jī)胺化合物、極性有機(jī)溶劑以及水,但現(xiàn)有的水性剝離液大都存在腐蝕金屬配線、光刻膠殘留、環(huán)境污染大、影響操作人員的安全性、剝離效果差等問題。廣州顯示面板用剝離液配方技術(shù)哪家公司的剝離液的是口碑推薦?
剝離液是一種通用濕電子化學(xué)品,主要用于去除金屬電鍍或者蝕刻加工完成后的光刻膠和殘留物質(zhì),同時(shí)防止對(duì)襯底層造成破壞。剝離液是集成電路、分立器件、顯示面板、太陽能電池等生產(chǎn)濕法工藝制造的關(guān)鍵性電子化工材料,下游應(yīng)用領(lǐng)域***,但整體應(yīng)用需求較低,因此市場規(guī)模偏小。
剝離液應(yīng)用在太陽能電池中,對(duì)于剝離液的潔凈度要求較低,*需達(dá)到G1等級(jí),下游客戶主要要天合、韓華、通威等;應(yīng)用到面板中,通常要達(dá)到G2、G3等級(jí),且高世代線對(duì)于剝離液的要求要高于低世代線,下游客戶有京東方、中星光電;在半導(dǎo)體中的應(yīng)用可分等級(jí),在8英寸及以下的晶圓制造中,對(duì)于剝離液的要求達(dá)到G3、G4水平,大硅片、12英寸晶元等**產(chǎn)品要達(dá)到G5水平。
技術(shù)領(lǐng)域:本發(fā)明涉及一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法,可用于微納制造,光學(xué)領(lǐng)域,電學(xué),生物領(lǐng)域,mems領(lǐng)域,nems領(lǐng)域。技術(shù)背景:微納制造技術(shù)是衡量一個(gè)國家制造水平的重要標(biāo)志,對(duì)提高人們的生活水平,促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展與經(jīng)濟(jì)增長,保障**安全等方法發(fā)揮著重要作用,微納制造技術(shù)是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎(chǔ)?;诎雽?dǎo)體制造工藝的光刻技術(shù)是**常用的手段之一。對(duì)于納米孔的加工,常用的手段是先利用曝光負(fù)性光刻膠并顯影后得到微納尺度的柱狀結(jié)構(gòu),再通過金屬的沉積和溶膠實(shí)現(xiàn)圖形反轉(zhuǎn)從而得到所需要的納米孔。然而傳統(tǒng)的方法由于光刻過程中的散焦及臨近效應(yīng)等會(huì)造成曝光后的微納結(jié)構(gòu)側(cè)壁呈現(xiàn)一定的角度(如正梯形截面),這會(huì)造成蒸發(fā)過程中的掛壁嚴(yán)重從而使lift-off困難。同時(shí)由于我們常用的高分辨的負(fù)膠如hsq,在去膠的過程中需要用到危險(xiǎn)的氫氟酸,而氫氟酸常常會(huì)腐蝕石英,氧化硅等襯底從而影響器件性能,特別的,對(duì)于跨尺度高精度納米結(jié)構(gòu)的制備在加工效率和加工能力方面面臨著很大的挑戰(zhàn)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素::為了克服上述技術(shù)問題,本發(fā)明公開了一種選擇性剝離光刻膠制備微納結(jié)構(gòu)的方法。蘇州性價(jià)比高的剝離液。
每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級(jí)腔室102連通。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一***子管道301上。在一些實(shí)施例中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一***子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些實(shí)施例中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第二子管道502上。具體的,閥門開關(guān)60的設(shè)置位置可以設(shè)置在連接過濾器30的任意管道上,在此不做贅述。在一些實(shí)施例中,請(qǐng)參閱圖4,圖4為本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái)100的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。第二管道50包括多個(gè)第三子管道503,每一所述第三子管道503與一子過濾器連通301,且每一所述第三子管道503與所述下一級(jí)腔室連通102。其中,閥門開關(guān)60設(shè)置在每一第三子管道503上。本申請(qǐng)實(shí)施例提供的剝離液機(jī)臺(tái),包括:依次順序排列的多級(jí)腔室、每一級(jí)所述腔室對(duì)應(yīng)連接一存儲(chǔ)箱;過濾器,所述過濾器的一端設(shè)置通過***管道與當(dāng)前級(jí)腔室對(duì)應(yīng)的存儲(chǔ)箱連接,所述過濾器的另一端通過第二管道與下一級(jí)腔室連接;其中,至少在***管道或所述第二管道上設(shè)置有閥門開關(guān)。通過閥門開關(guān)控制連接每一級(jí)腔室的過濾器相互獨(dú)立,從而在過濾器被阻塞時(shí)通過閥門開關(guān)將被堵塞的過濾器取下并不影響整體的剝離進(jìn)程,提高生產(chǎn)效率。哪家公司的剝離液是比較劃算的?蘇州格林達(dá)剝離液費(fèi)用是多少
剝離液的主要成分是什么?東莞天馬用的蝕刻液剝離液價(jià)格
701、油墨放置箱;702、油墨加壓器;703、高壓噴頭;704、防濺射擋板;705、印刷輥;8、膠面剝離結(jié)構(gòu);801、收卷調(diào)速器;802、收卷驅(qū)動(dòng)電機(jī);803、輥固定架;804、膠水盛放箱;805、點(diǎn)膠頭;806、卷邊輥;807、膠面收卷輥;9、電加熱箱;10、熱風(fēng)噴頭;11、干燥度感應(yīng)器;12、電氣控制箱;13、液晶操作面板。具體實(shí)施方式下面結(jié)合附圖對(duì)本**技術(shù)作進(jìn)一步說明:如圖1-圖4所示,一種印刷品膠面印刷剝離復(fù)合裝置,包括主支撐架1、橫向支架2、伺服變頻電機(jī)3、電機(jī)減速箱4、印刷品放置箱6、表面印刷結(jié)構(gòu)7、膠面剝離結(jié)構(gòu)8,所述主支撐架1上方設(shè)置有所述橫向支架2,所述橫向支架2上方設(shè)置有所述伺服變頻電機(jī)3,所述伺服變頻電機(jī)3上方設(shè)置有所述電機(jī)減速箱4,所述電機(jī)減速箱4上方安裝有印刷品傳送帶5,所述印刷品傳送帶5一側(cè)安裝有所述印刷品放置箱6,所述印刷品放置箱6一側(cè)安裝有所述表面印刷結(jié)構(gòu)7,所述表面印刷結(jié)構(gòu)7上方設(shè)置有油墨放置箱701,所述油墨放置箱701下方安裝有油墨加壓器702,所述油墨加壓器702下方安裝有高壓噴頭703,所述高壓噴頭703一側(cè)安裝有防濺射擋板704,所述防濺射擋板704下方安裝有印刷輥705,所述表面印刷結(jié)構(gòu)7一側(cè)安裝有所述膠面剝離結(jié)構(gòu)8。東莞天馬用的蝕刻液剝離液價(jià)格
蘇州博洋化學(xué)股份有限公司是一家集生產(chǎn)科研、加工、銷售為一體的****,公司成立于1999-10-25,位于高新區(qū)華橋路155號(hào)。公司誠實(shí)守信,真誠為客戶提供服務(wù)。公司主要經(jīng)營高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液,公司與高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液行業(yè)內(nèi)多家研究中心、機(jī)構(gòu)保持合作關(guān)系,共同交流、探討技術(shù)更新。通過科學(xué)管理、產(chǎn)品研發(fā)來提高公司競爭力。博洋化學(xué)嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)研發(fā),產(chǎn)品在按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試完成后,通過質(zhì)檢部門檢測(cè)后推出。我們通過全新的管理模式和周到的服務(wù),用心服務(wù)于客戶。博洋化學(xué)秉承著誠信服務(wù)、產(chǎn)品求新的經(jīng)營原則,對(duì)于員工素質(zhì)有嚴(yán)格的把控和要求,為高純雙氧水,高純異丙醇,蝕刻液,剝離液行業(yè)用戶提供完善的售前和售后服務(wù)。