sedispondrándispositivosdecorteporintensidaddedefecto,medianteinterruptoresdiferenciales,consensibilidadmáóncontraelectricidadestática,deberárealizarseunauniónequipotencialdemasas,ánestarconectadasaestared,tanquesdealmacenamiento,tuberías,estructurasmetálicas,aparatossurtidores,asícomolosconductoresdeproteccióndelosaparatoseléé)Cuadrogeneraleléctrico:ElgradodeprotecciónmínimoserádeIP237,segú)únelReglamentoElectrotécnicodeBajaTensióneICcorrespondientes,laaparamentaaincluirenelcuadroconstará:1.oInterruptorautomá.oInterruptoresautomáticos(PIA)paraproteccióndelí.oInterruptoresdiferencialesparalaproteccióóánunsistemadepuestaatierradelascisternasdeloscamiones,paradescargarlaelectricidadestáácompuestocomosigue:Uncableconectadoporunextremoalareddepuestaatierra,elotroextremoprovistodeunapinzaseconectaráaunterminalsituadoenelvehículoeníáextraflexibleconaislamiento。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司擁有專業(yè)的BOE蝕刻液以及各種蝕刻液。安徽應(yīng)用BOE蝕刻液報(bào)價(jià)
本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,來(lái)改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力,使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù):氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料,氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中,一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻,一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來(lái)蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展,器件的特征尺寸越來(lái)越小,集成度越來(lái)越高,對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來(lái)越高,如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí),晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象,體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí),檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問(wèn)題,通過(guò)在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液,所述蝕刻液的組成包括:占蝕刻液總重量≥88%的磷酸、%的醇醚類、%的表面活性劑。進(jìn)一步地,本發(fā)明涉及上述蝕刻液。安徽應(yīng)用BOE蝕刻液報(bào)價(jià)蘇州博洋化學(xué)股份有限公司歡迎新老朋友咨詢。
neutroyconductordeproteccióónentreloselementosdelsurtidor(emisordeimpulsos,solenoides,calculador,etc.),seconsiderasuficientelautilizacióndecableconcubiertaexteriordePVC/policloroprenoresistentealoshidrocarburos,detiponoarmadoyaquealserIP-23comomínimoelgradodeprotecciónmecánicadelsurtidor,encondicionesnormalesdeoperación,noesposibleejerceraccionesmecánicasquepuedanda?ánicos,talescomolaseventualesvibracionesgeneradasporlosequiposrotativosdelsurtidor,sondespreciables,ávibracióánsintensióááneas,cuandoseutilicencablesarmados,serealizaránenzanjasrellenasdearenaoentubosríéreasocuandoseutilicencablesnoarmados,sinprotecciónmecánica,seharáánsinsoldadura,galvanizadointerioryexterior,elroscadodelosmismosdeberácumplirlasexigenciasrelativasaltipodeejecucióátilesomóvilesseráncontubosmetálicosflexibles,corrugados,protegidosexteriormentecontralaoxidacióáncumplirlascondicionesdeltipodeconstruccióncorrespondientesasuejecucióóndeunacanalizacióneléctricadeunazonaaotra。
該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為二乙二醇單甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p,添加量分別為總質(zhì)量的%、%。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中,該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司,蝕刻液專業(yè)生產(chǎn)商。
lapruebadepresiónhidráánresistentesaloshidrocarburosyalosaditivosquepuedanconteneryaseguraráónserándeunmaterialqueresistalacorrosiónypermitasufácilsustitucióóósitossemontarándosorejetasdeizadodeformasimétricaenrelaciónconelcentrodegravedaddelosdepósitosvacíánrecortadasdeunachapadecalidadigualaladelosdepóáncomomínimoparauncargaigualaldobledelpesodeldepósitovacíándise?adasparanotransmitiresfuerzosanómalosalasvirolasdelaenvolventecilíndricayestaránsoldadasentodosucontorno,amásde50milíósitosdemenosdetresmetrosdelargosepodrácolocarunasolaorejetadeizado,óndelosdepóósitosseubicaránagrupadosenfosocomúónentredepósitosserádeunmetroyladimensiónmínimadelfososeráaquellaqueacojaalgrupodedepósitosdejando50centímetrosentodoelperíósitos,ladistanciamínimaamuros,edificaciones,ínimaaedificaciones,existentesoposiblesenelexteriordelosterrenosdelaESoUSserá:1.oParadepósitos?litrosdecapacidadnominal:.oParadepósitosde&。ITOBOE蝕刻液的配方是什么?如何發(fā)展BOE蝕刻液銷售電話
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除去75重量%的油。在45°C下的簡(jiǎn)單加熱、或者在環(huán)境溫度(20°C)下的簡(jiǎn)單攪拌或超聲應(yīng)用可以除去所有的沉積油。此外,沒(méi)有觀察到油的溶解,而是觀察到上升到液體表面的油的脫離(卷起機(jī)理(rollingupmechanism)).與快速導(dǎo)致溶劑飽和的溶解機(jī)理相比,該卷起機(jī)理更為有利。油溶解試驗(yàn)的總體過(guò)程將硅油(得自CromptonCorporation(Greenwich,USA)的CromptonL9000—1000)引入到100ml待評(píng)價(jià)組合物中,并測(cè)定在環(huán)境溫度下立即溶解的硅油的量(其以所溶解的油相對(duì)于該混合物的百分?jǐn)?shù)表示)。實(shí)施例5在使用%的九氟丁基乙基醚和%的甲基四氫呋喃的共沸組合物的情況下,溶解超過(guò)17重量%的油。實(shí)施例6在使用九氟丁基乙基醚的情況下,多溶解2重量%的油并且觀察到反混合(demixing)。權(quán)利要求組合物,其包含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F9OR的九氟丁基烷基醚,在式C4F9OR中,R具有1~4個(gè)碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。2.權(quán)利要求1的組合物,特征在于,所述組合物包含540重量%的甲基四氫呋喃和6095重量%的式C4F90R的九氟丁基烷基醚。3.權(quán)利要求1或2的組合物,特征在于,所述式C4F90R的九氟丁基烷基醚是九氟丁基甲基醚和九氟丁基乙基醚。4.權(quán)利要求13中任一項(xiàng)的組合物,特征在于。安徽應(yīng)用BOE蝕刻液報(bào)價(jià)