根據(jù)對華新光電、日東集團(tuán)的剝離液成分進(jìn)行分析得知,剝離液主要成分為單乙醇胺(MEA),二甲亞砜(DMS0)和二乙二醇單丁醚(BDG),其中市場上大部分以二乙二醇單丁醚居多。剝離液廢液多呈深黑色且氣味大,由以下幾種組分構(gòu)成:(1)、1~20%重量的醇胺或者酰胺,以伯胺和腫胺為主。(2)、10~60%重量的醇;(3)、10~50%重量的水;(4)、5~50%重量的極性有機溶劑,如;N-甲基吡咯烷酮(NMP),環(huán)丁基砜、二甲基亞砜(DMSO)、二甲基乙酰胺、N-乙基甲酰胺等。(5)、~3%重量的金屬抗蝕劑,如2-氨基環(huán)己醇、2-氨基環(huán)戊醇等。根據(jù)上述分析可以看出,剝離液中大部分是有機溶劑,可以加以回收資源化利用,或者將剝離廢液進(jìn)行脫色凈化處理后再用于生產(chǎn)中,配成剝離液。當(dāng)前國內(nèi)主要產(chǎn)生剝離液的廠家主要分布在天津及深圳一帶,均是高新技術(shù)發(fā)達(dá)區(qū)域,隨著國內(nèi)經(jīng)濟(jì)及城市的發(fā)展,剝離液產(chǎn)廢地點將越來越,也將引起環(huán)保的重視及關(guān)注。 高效剝離液,讓光刻膠去除更輕松、更徹底。合肥鋁鉬鋁蝕刻液剝離液商家
本實用新型涉及光刻膠生產(chǎn)設(shè)備,具體是一種光刻膠廢剝離液回收裝置。背景技術(shù):光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一,其是由溶劑、感光樹脂、光引發(fā)劑和添加劑四種成分組成的對光敏感的混合液體。在紫外光、深紫外光、電子束、離子束等光照或輻射下,進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng),經(jīng)曝光、顯影等過程,將所需要的微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移至待加工的襯底上,然后進(jìn)行蝕刻等工藝加工,終得到所需圖像。其中,溶劑使光刻膠具有流動性,易揮發(fā),對于光刻膠的化學(xué)性質(zhì)幾乎沒有影響。感光樹脂是惰性的聚合物,用于把光刻膠中的不同材料聚在一起的粘合劑,給予光刻膠其機械和化學(xué)性質(zhì)。光引發(fā)劑是光刻膠中的光敏成分,對光能發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。添加劑是控制光刻膠材料特殊方面的化學(xué)物質(zhì),用來控制和改變光刻膠材料的特定化學(xué)性質(zhì)或響應(yīng)特性。在光刻工藝中,一般步驟為勻膠—干燥—前烘--曝光—顯影—后烘—蝕刻—剝離。在光刻膠剝離工序中會產(chǎn)生剝離廢液,光刻膠價格昂貴,如不對廢液中的光刻膠成分回收利用,會造成較大的資源浪費,因此企業(yè)通常將剝離廢液中的光刻膠樹脂進(jìn)行有效回收并應(yīng)用于再生產(chǎn)中。合肥鋁鉬鋁蝕刻液剝離液商家剝離液可用于去除光刻膠;
所述卷邊輥與所述膠面收卷輥通過皮帶連接,所述收卷驅(qū)動電機與所述膠面收卷輥通過導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述電加熱箱與所述干燥度感應(yīng)器通過導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述液晶操作面板通過導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述主支撐架由合金鋼壓制而成,厚度為5mm。進(jìn)一步的,所述干燥度感應(yīng)器與所述電氣控制箱通過導(dǎo)線連接。進(jìn)一步的,所述防濺射擋板共有兩塊,傾斜角度為45°。進(jìn)一步的,所述電氣控制箱與所述表面印刷結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接,所述電氣控制箱與所述膠面剝離結(jié)構(gòu)通過導(dǎo)線連接。本技術(shù)的有益效果在于:采用黏合方式對印刷品膠面印刷進(jìn)行剝離,同時能夠?qū)τ∷⑵纺z面進(jìn)行回收,節(jié)約了大量材料,降低了生產(chǎn)成本。
避免接觸皮膚、眼睛和衣服;存儲:密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護(hù)極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風(fēng):良好的通風(fēng)措施,保持良好通風(fēng)人員保護(hù)設(shè)備:橡膠手套、防護(hù)目鏡,避免接觸皮膚、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽壓;9.物理和化學(xué)性能物理測試:液體顏色:微黃氣味:類氨熔點:-24~-23℃沸點:165~204℃閃點:110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑:溶于部分有機溶劑PH值:10.穩(wěn)定性與活性穩(wěn)定性:穩(wěn)定危險反應(yīng):有機和無機酸、強氧化劑、堿金屬、強酸混溶性:強氧化劑和酸不能混溶,在高溫氣壓下可與二硫化碳反應(yīng)避免條件:熱、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>。剝離液有水性和溶劑型兩種不同的區(qū)分。
砷化鎵也有容易被腐蝕的特點,比如堿性的氨水、酸性的鹽酸、硫酸、硝酸等。去膠,也成為光刻膠的剝離。即完成光刻鍍膜等處理之后,需要去除光刻膠之后進(jìn)行下一步。有時直接采用+異丙醇的方式就可以去除。但是對于等離子體處理過的光刻膠,一般就比較難去除干凈。有的人把加熱到60℃,雖然去膠效果快了一些,但是沸點是60℃,揮發(fā)的特別快,而且**蒸汽也有易燃的風(fēng)險,因此找一款去膠效果好的光刻膠剝離液十分有必要。介紹常見的一款剝離液,該剝離液去膠效果好,但是對砷化鎵有輕微腐蝕,不易長時間浸泡。工藝參數(shù)因產(chǎn)品和光刻膠的種類而不同,但基本上都要加熱。剝離液,高效去除光刻膠,不留痕跡?;葜軧OE蝕刻液剝離液什么價格
剝離液蝕刻后如何判斷好壞 ?合肥鋁鉬鋁蝕刻液剝離液商家
在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本申請實施例提供的剝離液機臺的種結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產(chǎn)生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機臺內(nèi)的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進(jìn)行剝離制程,使得機臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產(chǎn)效率。請參閱圖1,圖1為本申請實施例提供的過濾液機臺100的種結(jié)構(gòu)示意圖。本申請實施例提供一種剝離液機臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應(yīng)連接一存儲箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設(shè)置通過管道40與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設(shè)置有閥門開關(guān)60。 合肥鋁鉬鋁蝕刻液剝離液商家