所述主厚度測量儀32布置在所述腔室31的側(cè)壁附近。所述主厚度測量儀32在所述玻璃加工治具4被加載到所述腔室31內(nèi)之后用噴淋液將玻璃變薄或者減薄的同時實時測量玻璃的厚度,并且將關(guān)于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器。所述控制器實時確定從所述主厚度測量儀32接收的玻璃的厚度是否達到目標(biāo)厚度。如果確定玻璃厚度達到目標(biāo)厚度,則所述控制器停止對玻璃進行的減薄處理并且控制所述玻璃加工治具4重新移動至所述沖洗區(qū)2內(nèi)。實施例三所述玻璃加工治具4經(jīng)所述控制器的控制實現(xiàn)在所述腔室31內(nèi)的往復(fù)運動,進而通過所述玻璃加工治具4的自身結(jié)構(gòu)實現(xiàn)所述玻璃加工治具4上玻璃的擺動,從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分接觸,提高玻璃在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)的減薄效果。圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖;具體的,所述玻璃加工治具4包括底座41、支撐架42,所述支撐架42固定設(shè)置在所述底座41上;所述底座41上設(shè)置有底支撐件43,所述底支撐件43用于與玻璃的底部接觸,在玻璃底部提供支撐效果;所述支撐架42上設(shè)置有側(cè)支撐件44,所述側(cè)支撐件44限制玻璃側(cè)部邊緣位置。哪家減薄用清洗劑的質(zhì)量比較好。無錫中芯國際用減薄用清洗劑價格
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來對所述待加工表面進行減薄??蛇x地,還包括:在所述磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后,更換所述磁轉(zhuǎn)子??蛇x地,將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上??蛇x地,對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對所述待加工部件進行清洗;采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕,以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點:本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法,采用托盤固定待加工部件,采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進行拋光,采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進行機械研磨,來對所述待加工表面進行減薄,由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。蘇州好的減薄用清洗劑的公司。
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