降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發(fā)明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進(jìn)行了固定，因此，對待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將待加工部件與托盤分離。具體地，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進(jìn)行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例提供的方法，還包括：在磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后，更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后，可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言，由于其與實施例公開的方法相對應(yīng)，所以描述的比較簡單，相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。減薄用清洗劑的人概費用是多少？合肥哪家減薄用清洗劑聯(lián)系方式

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    若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上；所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu)，便于所述固定板423端面的朝向定位；對應(yīng)的，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426，當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時，設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44，且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè)，從而實現(xiàn)對所述盛放部內(nèi)玻璃的支撐限位。其中，如圖3所示，所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實施方式為，所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣，所述固定槽426對應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽，從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置，使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動。在本實施方式中，兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424多只設(shè)置一個所述固定卡塊427。選擇高效減薄用清洗劑，為您的生產(chǎn)線注入新活力。

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