而使有光刻膠掩蔽的區(qū)域保存下來,這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是,圖形邊緣整齊,線條清晰,圖形變換差小,且對光刻膠膜及其掩蔽保護的表面無損傷和鉆蝕。蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體,通常多為氟化物氣體,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蝕刻由于蝕刻方向性強、工藝控制精確、方便、無脫膠現(xiàn)象、無基片損傷和沾污,所以其應(yīng)用范圍日益***。1.特種氣體(Specialtygases)：指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多,通常可區(qū)分為電子氣體、標準氣、**氣、醫(yī)用氣、焊接氣、**氣等,***用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學(xué)研究及診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。2、標準氣體(Standardgases)：標準氣體屬于標準物質(zhì)。標準物質(zhì)是高度均勻的、良好穩(wěn)定和量值準確的測定標準,它們具有復(fù)現(xiàn)、保存和傳遞量值的基本作用,在物理、化學(xué)、生物與工程測量領(lǐng)域中用于校.d([準測量儀器和測量過程,評價測量方法的準確度和檢測實驗室的檢測能力,確定材料或產(chǎn)品的特性量值。福建二氧化氮標準氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。成都工業(yè)氣體供應(yīng)廠家
以盡量減少由于線性不好而引起的不確定度，特別對線性范圍比較窄的測量法，此點龍為重要。當含量不能做到充分接近時，**好在被測樣品兩側(cè)各選擇一個標準氣體，分別測定后取平均值作為測量結(jié)果。4、不確定度標準氣體一旦選擇，其不確定度對被測組分的結(jié)果而言就成為系統(tǒng)誤差。因此，從不確定度合成的角度考虎慮，不確定度越小越好，如果其數(shù)值比預(yù)期分析結(jié)果小三倍，則可忽略不計。標準氣體分析方法編輯分析標準氣體的方法很多，但常用的主要有：氣相色譜法、化學(xué)發(fā)光法、非色散紅外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。氣相色譜氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣、一氧化碳、二氧化碳等無機氣體，甲烷、乙烷、丙烯、及C3以上的絕大部分有機氣體的分析。通過直接法、濃縮法、反應(yīng)法等樣品處理技術(shù)的應(yīng)用，分析的含量范圍為10-9~。所以，氣相色譜法也是分析標準氣體中應(yīng)用**多、**普遍的方法?；瘜W(xué)發(fā)光法化學(xué)發(fā)光法是利用某些化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的發(fā)光現(xiàn)象對組分進行分析的方法，具有靈敏度高，選擇性好，使用簡單方便、快速等特點。因些，適用于硫化物、氮氧化物、氨等標準氣體的分析。成都乙炔標準氣體供應(yīng)廠家四川丙烷標準氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
這樣可以減小瓶壁的吸附作用。如果需要濃度更低的氣體,在大瓶子中配氣后,可用抽真空法再進行稀釋。例如,將大瓶子中的氣體壓力抽至原有壓力的一半,然后再充進干凈空氣至原來的壓力,即可得到原來濃度一半的標準氣體。2.注射器配氣法對于需氣量較小的工作,用注射器配氣是很方便的。取兩個大小不等的注射器,大注射器一般用100毫升的,小注射器根據(jù)配氣情況而定。配氣時,在大注射器中放一小金屬片,將活塞推入,再用小注射器取一定量的原料氣,將兩注射器按圖2連接,把小注射器的氣體推入大注射器,去掉小注射器和橡皮帽,抽動大注射器活塞,用干凈空氣將氣體稀釋到100毫升,搖動注射器中的金屬片,使氣體混合均勻,即得到較低濃度的標準氣體。稀釋后的濃度可根據(jù)稀釋前后氣體體積計算出來。如果一次稀釋達不到要求,還可進行第二次、第三次稀釋…。進行再次稀釋時,只要將大注射器中配好的氣體推出一部分,然后吸入干凈空氣進行稀釋,即可得到更低濃度的標準氣體。740)">3.塑料袋配氣法用100毫升注射器或通過濕式流量計將一部分空氣注入塑料袋內(nèi),然后按圖3連接一個事先裝入原料氣的氣體定量管。繼續(xù)通氣將定量管中的原料氣壓入塑料袋中,稀釋至一定體積。用手揉捏塑料袋,使氣體混合均勻。
GB16163-1996)中，根據(jù)工業(yè)純氣在氣瓶內(nèi)的物理狀態(tài)和臨界溫度進行分類，并按其化學(xué)性能，燃燒性、毒性、腐蝕性進行分組。第1類為長久氣體，其臨界溫度〈-10℃，在充裝時以及在允許的工作溫度下儲運和使用過程中均為氣態(tài)，分為a、b兩組：a組為不燃無毒和不燃**氣體(包括氧、氮、氬等)，b組為可燃無毒和可燃**氣體(包括氫等)。第2類為液化氣體，其臨界溫度≥-10℃，包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。其中，高壓液化氣體臨界溫度≥-10℃、且≤70℃，在充裝時為液態(tài)，但在允許的工作溫度下儲運和使用過程中隨著溫度升高至臨界溫度時即蒸發(fā)為氣態(tài)，分為a、b、c三組：a組為不燃無毒和不燃**氣體(包括二氧化碳)；b組為可燃無毒和自燃**氣體；c組為易分解或聚合的可燃氣體。低壓液化氣體臨界溫度〉70℃，在充裝時以及在允許的工作溫度下儲運和使用過程中均為液態(tài)，也分為a、b、c三組：a組為不燃無毒和不燃**及酸性腐蝕氣體(包括氯)；b組為可燃無毒和可燃**及堿性腐蝕氣體(包括氨)；c組為易分解或聚合的可燃氣體。第3類為溶解乙炔。在壓力下溶解于氣瓶內(nèi)溶劑的氣體，*有a組：易分解或聚合的可燃氣體(包括乙炔)。此分類是混合氣配制的基礎(chǔ)。工業(yè)混合氣是近二十年來出現(xiàn)的新品種。成都二氧化碳標準氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。
L:鋼瓶標準氣的濃度(ppm);Qs:鋼瓶標準氣的流量(L?min);Qa:壓縮空氣的流量(L?min;用此法配氣時,在壓縮空氣的管路中應(yīng)安裝選擇性過濾器(凈化器),以除去空氣中影響配氣純度的雜質(zhì)。此外配氣出口的總流量應(yīng)略大于用氣口的流量,以保證所配氣體的濃度與純度。2.滲透管動態(tài)配氣法(1)滲透管及滲透率的測定滲透管是動態(tài)配氣法中的另一種氣源,其結(jié)構(gòu)見圖5。740)">在安培瓶1中裝入產(chǎn)生原料氣的液體(如汽油等),用不銹鋼加固環(huán)3將聚四氟乙烯塑料帽2和安培瓶1的頸部緊封牢固,塑料帽的上端是比較薄(壁厚在1毫米以下)的滲透面4。由于原料液體的揮發(fā)性,使安培瓶中有一定蒸氣壓,氣體分子在蒸氣壓力的作用下,通過滲透面向外滲透。單位時間的滲透量叫滲透率。在一定溫度下,滲透率的大小決定于滲透面的厚度和面積的大小等因素。滲透面越大,壁越薄,滲透率就越大。制作滲透管時,就是通過改變滲透面積和厚度的辦法,以獲得不同滲透率的滲透管。任何滲透管在使用前都必須知道其滲透率。滲透率的測定方法是:在一干燥瓶的底部裝入粒狀氫氧化鈉,上面蓋一層尼龍紗網(wǎng),將滲透管放入干燥瓶中的紗網(wǎng)上。加蓋后,滲透出來的氣體(汽油蒸氣)就會被氫氧化鈉吸收。由于液體的蒸氣壓與溫度有關(guān)。一氧化碳標準氣體源頭廠家推薦四川僑源氣體股份有限公司。福建一氧化氮標準氣體生產(chǎn)廠家
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CVD)的方法生長一層或多層材料所用氣體稱為外延氣體。硅外延氣體有4種,即硅烷、二氯二氫硅、三氯氫硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,淀積氧化硅膜,淀積氮化硅膜,太陽電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。此外延層的電阻率往往與襯底不同。5.蝕刻氣體(Etchinggases)：蝕刻就是把基片上無光刻膠掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金屬膜等蝕刻掉,而使有光刻膠掩蔽的區(qū)域保存下來,這樣便在基片表面得到所需要的成像圖形。蝕刻的基本要求是,圖形邊緣整齊,線條清晰,圖形變換差小,且對光刻膠膜及其掩蔽保護的表面無損傷和鉆蝕。蝕刻方式有濕法化學(xué)蝕刻和干法化學(xué)蝕刻。干法蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體,通常多為氟化物氣體,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蝕刻由于蝕刻方向性強、工藝控制精確、方便、無脫膠現(xiàn)象、無基片損傷和沾污,所以其應(yīng)用范圍日益***。6.摻雜氣體(DopantGases)：在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中,將某種或某些雜質(zhì)摻入半導(dǎo)體材料內(nèi),以使材料具有所需要的導(dǎo)電類型和一定的電阻率,用來制造PN結(jié)、電阻、埋層等。摻雜工藝所用的氣體摻雜源被稱為摻雜氣體。成都工業(yè)氣體供應(yīng)廠家
