8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線，配套激光隱切機(jī)、光刻機(jī)、深硅刻蝕機(jī)等一整套前沿技術(shù)設(shè)備，由此，啟樸芯微具備為客戶提供質(zhì)量產(chǎn)品服務(wù)的能力，百級(jí)/萬(wàn)級(jí)室內(nèi)MEMS加工無(wú)菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室，賦予啟樸芯微強(qiáng)大的加工與測(cè)試能力，兼容8/6/4英寸晶圓級(jí)微納加工，更充分支持實(shí)現(xiàn)國(guó)內(nèi)MEMS技術(shù)企業(yè)、科研院所和高校的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、流片代工和測(cè)試應(yīng)用需求。寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司專注于像元級(jí)光譜和偏振超維光學(xué)芯片及光學(xué)系統(tǒng)解決方案，擁有自主可控的寧波i首條8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線，兼容8/6/4英寸晶圓級(jí)微納加工。公司擁有辦公與生產(chǎn)區(qū)域共1000余平方米，百級(jí)/萬(wàn)級(jí)MEMS加工無(wú)菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室，同步配備倉(cāng)儲(chǔ)空間，生產(chǎn)過程嚴(yán)格遵循相關(guān)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，為國(guó)內(nèi)傳感智能技術(shù)企業(yè)、科研院所、高校提供高質(zhì)量的MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、流片代工、測(cè)試應(yīng)用服務(wù)。寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司自主可控8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線，具有MEMS制造優(yōu)勢(shì)。蕪湖定制化MEMS微納加工能力

啟樸芯微團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的消高反光特種視覺檢測(cè)系統(tǒng)，是科技創(chuàng)新的典范。它的研發(fā)過程充滿了挑戰(zhàn)和機(jī)遇，團(tuán)隊(duì)成員們憑借著堅(jiān)定的信念和不懈的努力，成功突破了技術(shù)瓶頸。這一系統(tǒng)的應(yīng)用，不僅提高了工業(yè)制造品的檢測(cè)效率，還推動(dòng)了我國(guó)在工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。同時(shí)，它也為其他領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新提供了有益的借鑒。在未來(lái)，相信這一系統(tǒng)將在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用，為我國(guó)科技發(fā)展做出更大的貢獻(xiàn)。走進(jìn)寧波啟樸芯微的實(shí)驗(yàn)區(qū)，仿佛置身于一個(gè)科技的神話世界。先進(jìn)的設(shè)備閃爍著科技的光芒，科研人員們忙碌的身影充滿了活力和激情。8英寸MEMS規(guī)模化加工服務(wù)ODM產(chǎn)線在這里高效運(yùn)轉(zhuǎn)，每一個(gè)環(huán)節(jié)都充滿了科技的力量。**研發(fā)室里的創(chuàng)新成果，光學(xué)實(shí)驗(yàn)室里的深入研究，百級(jí)/萬(wàn)級(jí)室內(nèi)MEMS加工無(wú)菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室的嚴(yán)格管理，都展示了團(tuán)隊(duì)的專業(yè)和實(shí)力。這里的一切，都讓人感受到了科技的魅力和無(wú)限可能。廣東智能MEMS微納加工技術(shù)指導(dǎo)打造小型化、集成化的高分辨率特種光學(xué)相機(jī)模組和光學(xué)檢測(cè)解決方案，啟樸芯微持續(xù)前進(jìn)！

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司（以下簡(jiǎn)稱“啟樸芯微”）是一家專注于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的****，成立于西北工業(yè)大學(xué)寧波研究院的孵化體系中，并在短時(shí)間內(nèi)憑借技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)及代工服務(wù)，擁有自主可控的8英寸MEMS工藝產(chǎn)線，兼容6/4英寸晶圓級(jí)加工，覆蓋光刻、深硅刻蝕、薄膜沉積、晶圓鍵合、激光切割等**工藝能力，為行業(yè)提供從結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)到封裝測(cè)試的全鏈條服務(wù)36。其技術(shù)團(tuán)隊(duì)在MEMS領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)豐富，尤其在光學(xué)類與SOI（絕緣體上硅）特色工藝方面具備***優(yōu)勢(shì)，例如通過原子層沉積（ALD）技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度薄膜制備，提升器件性能與可靠性。

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司成立于2022年9月，是一家專注于像元級(jí)光譜和偏振超維光學(xué)芯片及光學(xué)系統(tǒng)解決方案的科技研發(fā)型企業(yè)，自主可控國(guó)內(nèi)首條8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線，具備光刻、深硅刻蝕、鍵合、PVD、ALD、濕法腐蝕與清洗、氧化退火、CMP、激光隱形切割、SEM、FIB等加工與測(cè)試能力，兼容8/6/4英寸晶圓級(jí)微納加工。作為一個(gè)兼具產(chǎn)品開發(fā)能力和技術(shù)加工能力的科技型企業(yè)，本著“斫雕為樸，芯程再啟”的企業(yè)宗旨，啟樸芯微將展示在MEMS產(chǎn)品設(shè)計(jì)、晶圓加工、工藝檢驗(yàn)等不同環(huán)節(jié)的技術(shù)服務(wù)能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蝕、鍵合、濕法腐蝕與清洗、氧化退火、激光隱形切割、光譜橢偏測(cè)試、傅里葉紅外光譜測(cè)試、探針臺(tái)階測(cè)試等服務(wù)方案和應(yīng)用成果。啟樸芯微始終致力于光學(xué)、流動(dòng)測(cè)量等領(lǐng)域的MEMS器件及系統(tǒng)開發(fā)。

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS，Micro-Electro-MechanicalSystems）是一種將微型機(jī)械結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器與電子電路集成在單一芯片上的技術(shù)。其**是通過微納加工工藝（如光刻、薄膜沉積、離子刻蝕等），在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米級(jí)別的三維可動(dòng)結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)能夠感知或操控物理量（如壓力、加速度、溫度等），并通過嵌入式電路實(shí)現(xiàn)信號(hào)處理與通信。MEMS的制造技術(shù)借鑒了半導(dǎo)體工藝，但增加了機(jī)械部件的設(shè)計(jì)，例如通過深反應(yīng)離子刻蝕（DRIE）形成懸臂梁、空腔或微型齒輪。這種技術(shù)的高度集成性使得MEMS器件在體積、功耗和成本上***優(yōu)于傳統(tǒng)機(jī)電系統(tǒng)，同時(shí)具備高靈敏度和快速響應(yīng)能力，成為現(xiàn)代智能設(shè)備的**組件之一。公司形成了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光譜濾波芯片及其成像系統(tǒng)，成果豐碩！成都智能傳感MEMS微納加工技術(shù)指導(dǎo)

以“斫雕為樸，芯程再啟”為創(chuàng)立宗旨，啟樸芯微持續(xù)精進(jìn)，為您帶來(lái)更精湛的技術(shù)水平。蕪湖定制化MEMS微納加工能力

啟樸芯微團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的消高反光特種視覺檢測(cè)系統(tǒng)，是工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域的一次重大突破。它的出現(xiàn)，解決了傳統(tǒng)檢測(cè)方法中的諸多難題。通過像素級(jí)定標(biāo)技術(shù)和先進(jìn)的半導(dǎo)體加工工藝，實(shí)現(xiàn)了圖像的精細(xì)分析和產(chǎn)品的高精度定位組裝。過殺率和誤判率的降低，提高了檢測(cè)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。這一系統(tǒng)的成功應(yīng)用，標(biāo)志著我國(guó)在工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。寧波啟樸芯微的8英寸MEMS規(guī)?；庸し?wù)ODM產(chǎn)線，是我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要支撐。它的建立，標(biāo)志著我國(guó)在芯片制造領(lǐng)域取得了重大突破。先進(jìn)的設(shè)備和完善的設(shè)施，為芯片的研發(fā)和制造提供了有力的保障。服務(wù)200余家高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè)的成績(jī)，彰顯了其在行業(yè)內(nèi)的**地位。獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務(wù)型示范平臺(tái)、寧波市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等榮譽(yù)，更是對(duì)其實(shí)力的高度肯定。這條產(chǎn)線的發(fā)展，將推動(dòng)我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)向更高水平邁進(jìn)。蕪湖定制化MEMS微納加工能力