螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)各大制藥和化工企業(yè)得到普遍應(yīng)用。優(yōu)點是壽命長、能耗低、無油污染。兩螺桿經(jīng)精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制?；し栏婵毡脠髢r

真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴大。目前，全球真空泵市場的年銷售額約20億美元，年增長率在7％左右。我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右(2015年)，只相當于美國公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出，各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國產(chǎn)真泵已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應(yīng)該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間?；し栏婵毡脠髢r一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側(cè)通常用雙唇形密封件。

羅茨真空泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣，在0°位置時，下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積的氣體。當轉(zhuǎn)到45°位置時，該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強較高，引起一部分氣體返沖過來。當轉(zhuǎn)到90°位置時，下轉(zhuǎn)子封入的氣體，連同返沖的氣體一起排向泵外。這時，上轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時，上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口相通，重復(fù)上述過程。180°位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個v0體積的氣體。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇獲得設(shè)備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。

在真空泵中，相對壓強即所測內(nèi)部壓強比“大氣壓”低多少壓強，表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽，因此，內(nèi)部的壓強始終低于容器外部壓強。所以當用相對壓強或者表壓強表示的時候，數(shù)值前面必須帶負號，表示容器內(nèi)部壓強比外部壓強低。極限壓強，壓強即所測內(nèi)部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀態(tài)的真空壓強值。由于工藝所限，我們無論如何都不能將內(nèi)部壓強抽到真空0Pa這個數(shù)值，因此，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當用真空表示時，數(shù)值前面無負號。冷凝水在多級真空泵中具有舉足輕重的作用?；し栏婵毡脠髢r

在真空泵中，相對壓強即所測內(nèi)部壓強比“大氣壓”低多少壓強，表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值?；し栏婵毡脠髢r

真空泵的傳動方式，真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)。從動轉(zhuǎn)子由電動機端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動方式的較大缺點是，主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便?；し栏婵毡脠髢r