真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵，真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)?，真空泵必須具有前?jí)泵配合，方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感，普遍用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。水環(huán)真空泵串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa?；?yàn)室用真空泵供應(yīng)公司

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。出售真空泵價(jià)格如果真空泵中的如果物料含水或者是有機(jī)溶劑，需要加液態(tài)水過濾器和冷凝器，起到一個(gè)過濾的作用。

羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時(shí)在中真空范圍也有較強(qiáng)的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級(jí)機(jī)組的高真空機(jī)組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級(jí)泵易于處于高流量狀態(tài)；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級(jí)泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。這樣可以使系統(tǒng)盡快地進(jìn)入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。

微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定，完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無故障連續(xù)運(yùn)行時(shí)間都大于1000小時(shí)，有的高到數(shù)千小時(shí)。特別注意，這項(xiàng)參數(shù)是在滿負(fù)荷、不間斷的運(yùn)行狀態(tài)下測(cè)定的，是比較惡劣的工況，如果實(shí)際使用不是滿載或連續(xù)運(yùn)行，該數(shù)值會(huì)高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗(yàn)制造商的技術(shù)實(shí)力，從產(chǎn)品外觀上可以看出一些，如采用特制電機(jī)而非普通低價(jià)電機(jī)、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價(jià)格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。真空泵的傳動(dòng)方式，真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。

爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，每級(jí)泵均應(yīng)嚴(yán)格控制端面間隙，即四級(jí)泵需嚴(yán)格控制8個(gè)端面間隙，泵在運(yùn)行時(shí)的熱膨脹及抽除粉未等時(shí)容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級(jí)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性決定了其裝配的復(fù)雜性，一般人員很難達(dá)到裝配要求；因爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，排氣通道復(fù)雜，在抽除可凝性氣體時(shí)（例如：水蒸汽，有機(jī)溶劑氣體等），在泵腔內(nèi)壓縮時(shí)會(huì)產(chǎn)生較多的液體，這部分液體進(jìn)入泵的端面造成泵的負(fù)載明顯變大，四級(jí)爪形真空泵有8個(gè)端面，不宜抽除大量可凝性氣體。真空泵整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。干式螺桿真空泵供貨費(fèi)用

冷凝水在多級(jí)真空泵中具有舉足輕重的作用?；?yàn)室用真空泵供應(yīng)公司

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時(shí)，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外。羅茨真空泵分為常規(guī)羅茨泵及氣冷直排大氣羅茨泵，常規(guī)羅茨泵承受的壓差小大約為3000~6000Pa，所以常規(guī)羅茨泵必須帶前級(jí)泵預(yù)抽，不能直接排大氣。氣冷羅茨泵因?yàn)樵黾恿藷崃科胶庋b置可以直接排大氣，氣冷羅茨真空泵的極限壓力為13000Pa?；?yàn)室用真空泵供應(yīng)公司