對真空泵的工作蒸汽及其干度的研究：蒸汽壓力偏低及壓力波動均對真空泵的能力有較大影響，因此蒸汽壓力不應(yīng)低于要求的工作壓力，但所用真空泵結(jié)構(gòu)設(shè)計已定型，過多提高蒸汽壓力并不會增加抽氣量及真空度。另外，要確保鍋爐供給的蒸汽壓力穩(wěn)定，建議用一臺鍋爐專門給蒸汽噴射泵提供工作蒸汽，這樣蒸汽壓力就不會出現(xiàn)波動，真空泵性能穩(wěn)定。對循環(huán)冷卻水要求的研究：冷卻水供量不足，冷凝器會發(fā)熱，氣流聲音變大，真空度迅速下降，甚至蒸汽會返入抽氣管。真空泵必須具有前級泵配合，方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。深圳爪式真空泵

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。深圳爪式真空泵臥式真空泵的進氣口在上，排氣口在下。

微型真空泵的介質(zhì)溫度問題。根據(jù)通過泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴重性而定，完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無故障連續(xù)運行時間都大于1000小時，有的高到數(shù)千小時。特別注意，這項參數(shù)是在滿負荷、不間斷的運行狀態(tài)下測定的，是比較惡劣的工況，如果實際使用不是滿載或連續(xù)運行，該數(shù)值會高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗制造商的技術(shù)實力，從產(chǎn)品外觀上可以看出一些，如采用特制電機而非普通低價電機、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問題。如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購低電磁干擾的微型泵。

簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強前級泵的預(yù)抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非?，F(xiàn)實的。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機組得到的簡化。在某些中真空應(yīng)用中，需要進入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機組往往難于實現(xiàn)，而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個數(shù)量級而進入10-1Pa，所以中真空應(yīng)用也常用三級機組。高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。

在真空泵中，相對壓強即所測內(nèi)部壓強比“大氣壓”低多少壓強，表示出系統(tǒng)壓強實際數(shù)值低于大氣壓強的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽，因此，內(nèi)部的壓強始終低于容器外部壓強。所以當(dāng)用相對壓強或者表壓強表示的時候，數(shù)值前面必須帶負號，表示容器內(nèi)部壓強比外部壓強低。極限壓強，壓強即所測內(nèi)部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀態(tài)的真空壓強值。由于工藝所限，我們無論如何都不能將內(nèi)部壓強抽到真空0Pa這個數(shù)值，因此，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當(dāng)用真空表示時，數(shù)值前面無負號。真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。深圳爪式真空泵

對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強前級泵的預(yù)抽能力，進一步縮短抽氣時間。深圳爪式真空泵

真空泵中的折疊羅茨泵，從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，國外幾家大公司他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%，這5家總計才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵羅茨泵工作原理的價格遠比國產(chǎn)泵要高得多。國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。深圳爪式真空泵