往復真空泵活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥關閉。氣缸內的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓力達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環(huán)。當活塞再左向右運動時，又重復前一循環(huán)，如此反復下去，被抽容器內達到某一穩(wěn)定的平衡壓力。為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來。往復真空泵從安裝形式來分，有臥式往復真空泵及立式往復真空泵；從油潤滑來分，有有油往復真空泵及無油往復真空泵。對于微型真空泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定。實驗室微型真空泵現(xiàn)價

真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求，選型時真空度要高于真空設備真空度的半個到一個數(shù)量級。(如：真空工藝要求100pa(壓力)的真空度，選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求壓強高于3300Pa，則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置，如果壓強要求低于3300Pa，則不能選擇水環(huán)式真空泵，選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下，排出氣體、液體，固體的能力)，一般單位：m3/h，L/S，m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當然，真空泵的選型是一個綜合過程，涉及到相關經驗等因素。無油真空泵批發(fā)一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。

真空泵達到一定臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。但如在高低真空泵之間再連接一臺中真空泵，便可起到承上啟下的作用，流量連續(xù)，而且各泵皆可工作在較好的狀態(tài)。羅茨泵能工作在中真空范圍，是適合的，故又稱羅茨增壓泵，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當三級高真空機組進入較高的真空度時，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時只靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性，在實際運用中這是經常采用的方法，這樣可減少機組的能耗。

當真空泵中的葉輪順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環(huán)的上部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕；當葉輪繼續(xù)旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。往復真空泵中活塞的驅動是用曲柄連桿機構來完成的。

從國外羅茨真空泵生產情況來看，國外幾家大公司，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5％，這5家總計才20％，羅茨泵產量不大，但國外羅茨泵的價格遠比國產泵要高得多。目前，國內外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產效率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵一定要在占領國內市場基礎上設法進入國際市場，這樣就必須進一步降低國產羅茨泵的振動噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，提高泵內的光潔度和清潔度。水環(huán)真空泵開始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。AC線性驅動活塞真空泵

水環(huán)真空泵泵腔內沒有金屬磨擦表面，無須對泵內進行潤滑，而且磨損很小。實驗室微型真空泵現(xiàn)價

羅茨真空泵由于在泵腔內沒有工作介質，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡。分子泵在國外半導體領域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側裝一個-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。實驗室微型真空泵現(xiàn)價

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