HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。歡迎致電合肥真萍科技咨詢(xún)工業(yè)烤箱相關(guān)知識(shí)。安徽工業(yè)烤箱供應(yīng)廠(chǎng)家

HMDS真空烤箱整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸：1.內(nèi)膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動(dòng)度：±0.5℃4.真空泵：油泵或無(wú)油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開(kāi)箱溫度可以由user自行設(shè)定來(lái)降低process時(shí)間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間），為正常工作周期不含降溫時(shí)間（因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫）。宿遷工業(yè)烤箱批發(fā)工業(yè)烤箱對(duì)如今市場(chǎng)的影響。

產(chǎn)品描述：真空干燥箱，是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。它是利用真空泵進(jìn)行抽氣抽濕，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)，降低水的沸點(diǎn)，加快干燥的速度。特點(diǎn)：1、長(zhǎng)方體工作室，增加有效容積，微電腦溫度控制器，精確控溫。2、雙層玻璃視窗觀(guān)察工作室內(nèi)物體，一目了然。3、箱體閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)高真空度。4、工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5、儲(chǔ)存、加熱、試驗(yàn)和干燥都是在沒(méi)有氧氣或者充滿(mǎn)惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行，所以不會(huì)氧化。真空程序分段控制該型號(hào)機(jī)型，抽真空過(guò)程可提供程序化編程，根據(jù)客戶(hù)要求編輯設(shè)定真空值，保壓時(shí)間值?？蓪?shí)現(xiàn)多段抽真空和保壓編程。

1、本烘箱由室體、加熱系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、送風(fēng)系統(tǒng)、保護(hù)系統(tǒng)等組成。2、箱體采用先進(jìn)設(shè)備制作、業(yè)內(nèi)的制造工藝流程、線(xiàn)條流暢、美觀(guān)大方。3、工作室材質(zhì)為不銹鋼、外箱材質(zhì)為優(yōu)良冷軋鋼板，產(chǎn)品外殼使用環(huán)保金屬漆噴制，整體設(shè)計(jì)美觀(guān)大方，適合較好實(shí)驗(yàn)室的顏色搭配。4、工作室內(nèi)的擱架不可調(diào)節(jié)。5、工作室與外箱之間的保溫材質(zhì)是優(yōu)良超細(xì)玻璃纖維保溫棉，保溫厚度：＞70mm，隔溫效果好，國(guó)內(nèi)，高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從內(nèi)到外有內(nèi)腔、外殼、超細(xì)玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層，內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門(mén)膽結(jié)構(gòu)獨(dú)特，極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。6、門(mén)與門(mén)框之間采用高性能密封材料及獨(dú)特的橡膠密封結(jié)構(gòu)，密封、耐高溫性、抗老化性好。合肥真萍科技工業(yè)烤箱價(jià)格更優(yōu)惠。

下面為大家介紹一下高溫?zé)o氧固化烘箱。無(wú)氧干燥箱應(yīng)用于航空、航天、石油、化工、、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，模壓固烤、IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識(shí)別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無(wú)塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備件等的高溫潔凈和無(wú)氧環(huán)境中干燥和老化試驗(yàn)。1、技術(shù)指標(biāo)與基本配置：1.1使用溫度：RT～260℃，極限溫度：300℃；1.2爐膛腔數(shù):2個(gè),上下布置；1.3爐膛材料：SUS304鏡面不銹鋼；加熱元件：不銹鋼加熱器；熱偶：K分度1.4溫度和氧含量記錄:無(wú)紙記錄儀；2、氧含量（配氧分析儀）：2.1高溫狀態(tài)氧含量：≤10ppm+氣源氧含量;低溫狀態(tài)氧含量：≤20ppm+氣源氧含量2.2控溫穩(wěn)定度：1℃；2.3溫度均勻度：2%℃（260℃平臺(tái)）；設(shè)備適用于產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、電子、電工及汽車(chē)、航空在恒溫條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。淮安工業(yè)烤箱銷(xiāo)售價(jià)格

合肥真萍向您介紹工業(yè)烤箱的好處。安徽工業(yè)烤箱供應(yīng)廠(chǎng)家

下面為大家介紹一下六腔體無(wú)塵烤箱箱體結(jié)構(gòu)：1烘箱總體由箱體部分，電氣控制柜部分，電加熱部分，風(fēng)道部分，塵埃物過(guò)濾部分，N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，功能實(shí)用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵，內(nèi)膽材料：采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生。3保溫材料：采用正廠(chǎng)玻璃纖維公司出品的100K級(jí)高密度保溫板填充，有效的防止了熱能浪費(fèi)。4電熱部分：采用進(jìn)口覆套式電熱器（SHEATHEDHEATER）無(wú)塵無(wú)氧化電熱發(fā)生器5風(fēng)道部分：整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A，(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))過(guò)濾效果可達(dá)99.99%,Class100；可靠先進(jìn)的測(cè)控系統(tǒng)1溫度控制裝置：日本進(jìn)口溫控器，內(nèi)置PID自動(dòng)整定，斜率設(shè)定功能2溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出，溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3溫度監(jiān)控裝置：采用日本六通道巡回檢測(cè)有紙記錄儀，可將烤箱內(nèi)實(shí)時(shí)環(huán)境溫度進(jìn)行檢測(cè)打印。完善的控制系統(tǒng)1操作控制系統(tǒng)，采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動(dòng)系統(tǒng)控制，更快速，更穩(wěn)定。2防護(hù)措施：緊急停止，超溫保護(hù),斷線(xiàn)報(bào)警，相序保護(hù)，過(guò)載保護(hù)等。安徽工業(yè)烤箱供應(yīng)廠(chǎng)家