下面為大家介紹一下石墨盤烤盤爐一.產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的三、技術指標1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級；10、抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘工業(yè)烤箱的廠家哪個好？合肥真萍科技告訴您。江西工業(yè)烤箱專賣

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真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內(nèi)抽真空，被處理工件放置在爐膛內(nèi)，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質(zhì)量的目的。二、設計特點1、后門設計熱風電機2、降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的三、技術指標1、使用溫度：1450℃；比較高溫度：1500℃；2、絕熱材料：石墨纖維毯、石墨紙；4、加熱元件：石墨加熱棒；5、冷卻方式：氣冷+循環(huán)風冷降溫；6、控溫穩(wěn)定度：2℃，具有PID參數(shù)自整定功能；7、爐膛溫度均勻度：5℃（恒溫1500℃）；8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%；9、極限真空:10-3torr級；10、抽氣速率：空載下，30min達到10-2torr11、升溫功率：170kW；12、升溫速率：15℃/min（空載）；13、降溫速率：1450℃至80℃,240分鐘

工業(yè)烤箱所屬類別:公司工業(yè)烤箱是通用的干燥設備?；拘畔⒅形拿Q工業(yè)烤箱材料角鋼、薄鋼板適用干燥各種工業(yè)物料地位通用的干燥設備目錄1簡介2分類3工作原理4選購事項5使用指南6維護保養(yǎng)折疊編輯本段簡介工業(yè)烤箱:由角鋼、薄鋼板構成，另外箱體加強，外表面復漆，外殼與內(nèi)膽之間用硅酸鋁纖維充填，形成可靠的保溫層，工業(yè)烤箱應用的范圍很，可干燥各種工業(yè)物料。折疊編輯本段分類精密型熱風循環(huán)干燥箱CZ-452A/CZ-602A/CZ-902A產(chǎn)品詳細:精密型熱風循環(huán)干燥箱。合肥真萍告訴您使用工業(yè)烤箱的便捷性。

HMDS預處理系統(tǒng)的必要性：在半導體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側向腐蝕。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯(lián)劑的作用。工業(yè)烤箱怎樣使用？合肥真萍告訴您。蕪湖工業(yè)烤箱保養(yǎng)

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優(yōu)良連續(xù)爐的產(chǎn)品特點：1、雙邊配有鏈條傳動，解決傳送過程中跑偏的現(xiàn)象；2、烘箱分段式加熱，單獨電箱控制，方便操作，結構主要由輸送機系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成，多段單獨；3、PID溫度控制，爐內(nèi)溫度均勻；4、輸送速度變頻調(diào)速，調(diào)節(jié)自如，運行平穩(wěn)，產(chǎn)能高；5、每段單獨箱體設置廢氣排放接口，可外接到車間外面，避免車間廢氣污染。優(yōu)良連續(xù)爐的術參數(shù)：1、送風方式：送風循環(huán)系統(tǒng)；2、溫度范圍：RT+30℃~300℃；3、溫度精度：1℃4、溫度均勻性：1℃5、溫控裝置：富士智能PID溫控儀，LED數(shù)字顯示，PID自動演算及定時；6、材質(zhì)：內(nèi)膽不銹鋼，外箱體鋼板靜電噴塑；7、傳送方式：鏈桿、鏈網(wǎng)、自動錕輪，相當強承重；8、復合式電加熱器；9、保護裝置：漏電保護、斷路保護、電機過載保護、接地保護、非正常運行情況下蜂鳴報警。江西工業(yè)烤箱專賣