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工業(yè)烤箱基本參數(shù)
  • 產(chǎn)地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍電子科技有限公司
  • 型號(hào)
  • 齊全
  • 是否定制
工業(yè)烤箱企業(yè)商機(jī)

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮?dú)猓髁坑?jì)量程為2~20L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣*囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進(jìn)入大氣中,減少對(duì)環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min四、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測(cè)量采用K分度熱偶測(cè)量2.控制儀表采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫3.上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能4.控制方式固態(tài)繼電器過零控制5.超溫處理⑴.當(dāng)測(cè)量溫度超過設(shè)定的安全值時(shí),斷加熱,并報(bào)警。⑵.當(dāng)測(cè)量溫度超過目標(biāo)溫度達(dá)到安全偏差值時(shí),報(bào)警。工業(yè)烤箱給社會(huì)帶來了什么好處?上海工業(yè)烤箱手柄

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HMDS真空烤箱整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸:1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動(dòng)度:±0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)?;窗补I(yè)烤箱報(bào)價(jià)合肥真萍科技告訴您工業(yè)烤箱的外觀設(shè)計(jì)有哪些要求。

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下面為大家介紹一下石墨盤烤盤爐一.產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進(jìn)行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達(dá)到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計(jì)特點(diǎn)1、后門設(shè)計(jì)熱風(fēng)電機(jī)2、降溫時(shí)風(fēng)機(jī)開啟,同時(shí)兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3、通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進(jìn)行熱交換,達(dá)到快速降溫的目的三、技術(shù)指標(biāo)1、使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2、絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;4、加熱元件:石墨加熱棒;5、冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;6、控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;7、爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);8、氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮?dú)?純度≥99.999%;9、極限真空:10-3torr級(jí);10、抽氣速率:空載下,30min達(dá)到10-2torr11、升溫功率:170kW;12、升溫速率:15℃/min(空載);13、降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘14、腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)

中溫氣氛箱式爐主要用于磷酸鐵鋰正極材料等類似產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié)、熱處理。一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮?dú)?,流量?jì)量程為2~20L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進(jìn)入大氣中,減少對(duì)環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu)無2.產(chǎn)品降溫隨爐降溫3.安全保護(hù)4.報(bào)警指示超溫、斷偶、停水、停氣等聲光報(bào)警保護(hù)5.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min四、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測(cè)量采用K分度熱偶測(cè)量2.控制儀表采用進(jìn)口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫3.上限報(bào)警、熱電偶失效指示等多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能4.控制方式固態(tài)繼電器過零控制5.超溫處理⑴.當(dāng)測(cè)量溫度超過設(shè)定的安全值時(shí),斷加熱,并報(bào)警。⑵.當(dāng)測(cè)量溫度超過目標(biāo)溫度達(dá)到安全偏差值時(shí),報(bào)警。工業(yè)烤箱怎樣使用?合肥真萍告訴您。

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HMDS真空烤箱主要技術(shù)指標(biāo):1.機(jī)外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2.箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3.微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,可靠。4.智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時(shí)間。5.HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì),真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)良材料制造,無發(fā)塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境。合肥真萍科技簡(jiǎn)述工業(yè)烤箱規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)。立式工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家

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一、熱工系統(tǒng)1.額定溫度800℃2.較高溫度850℃3.加熱元件陶瓷外絲加熱管4.加熱功率18kw5.空爐保溫功率約9kw6.溫區(qū)個(gè)數(shù)1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù)2點(diǎn)8.熱偶K分度9.控溫穩(wěn)定度1℃(恒溫平臺(tái))10.爐膛溫度均勻度6℃(恒溫800℃,1h)二、氣氛系統(tǒng)1.爐膛氣氛2路氮?dú)?,流量?jì)量程為2~20L/min;每路流量可調(diào)節(jié)2.排氣系統(tǒng)在爐膛頂部設(shè)置一個(gè)排氣*囪,用于廢氣排放,廢氣3.經(jīng)過水封清洗后進(jìn)入大氣中,減少對(duì)環(huán)境污染4.氧含量配氧含量分析儀分析氧含量:5.高溫狀態(tài)氧含量≤10ppm+氣源氧含量6.低溫狀態(tài)氧含量≤50ppm+氣源氧含量。上海工業(yè)烤箱手柄

合肥真萍電子科技有限公司擁有電子產(chǎn)品,電子設(shè)備及配件,半導(dǎo)體設(shè)備及配件,半導(dǎo)體耗材,辦公設(shè)備研發(fā)及銷售。真萍科技(真萍微電子裝備)是專業(yè)從事烘烤制程設(shè)備,半導(dǎo)體黃光區(qū)**設(shè)備,環(huán)境與可靠性試驗(yàn)設(shè)備,電鍍清洗設(shè)備,防潮防氧化專業(yè)設(shè)備等產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷售供應(yīng)廠商,是以一批多年從事環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、防潮防氧化設(shè)備,半導(dǎo)體黃光區(qū)**設(shè)備,電鍍清洗設(shè)備等行業(yè)的專業(yè)工程技術(shù)人員,具有設(shè)計(jì)、制造、銷售及售后服務(wù)能力的綜合性企業(yè)。等多項(xiàng)業(yè)務(wù),主營業(yè)務(wù)涵蓋潔凈箱,干燥箱,高溫?zé)o氧烤箱,隧道爐。一批專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力。公司以誠信為本,業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋潔凈箱,干燥箱,高溫?zé)o氧烤箱,隧道爐,我們本著對(duì)客戶負(fù)責(zé),對(duì)員工負(fù)責(zé),更是對(duì)公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度,爭(zhēng)取做到讓每位客戶滿意。公司深耕潔凈箱,干燥箱,高溫?zé)o氧烤箱,隧道爐,正積蓄著更大的能量,向更廣闊的空間、更寬泛的領(lǐng)域拓展。

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