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網(wǎng)帶爐基本參數(shù)
  • 產(chǎn)地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍電子科技有限公司
  • 型號
  • 多種型號
  • 是否定制
網(wǎng)帶爐企業(yè)商機(jī)

1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時(shí)間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時(shí)間),為正常工作周期不含降溫時(shí)間(因降溫時(shí)間為常規(guī)降溫)。上海哪家網(wǎng)帶爐值得信賴?烘干網(wǎng)帶爐維修

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光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。福州烘干網(wǎng)帶爐專賣網(wǎng)帶爐哪家便宜?合肥真萍告訴您。

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下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)。一、爐體配置爐膛結(jié)構(gòu):采用多晶莫來石材料砌筑而成有效尺寸:φ300×320mm(D×H)設(shè)備重量:約1200Kg外觀材料顏色:掛板采用高溫噴塑,顏色為江淮藍(lán)外形尺寸:W1300×H2200×D1510(mm),不含(囪、指示燈)二、熱工系統(tǒng)1.額定溫度:1550℃2.限制溫度:1600℃3.加熱元件:U型硅鉬棒4.加熱功率:16kW5.空爐保溫功率≤8kW6.溫區(qū)個(gè)數(shù):1個(gè)7.控溫點(diǎn)數(shù):1點(diǎn)8.熱偶:B分度9.程序**精度:±2℃(大于600℃,升溫速率≤3℃/min)10.控溫穩(wěn)定度:±1℃(恒溫平臺)11.爐膛溫度均勻度:±4℃(恒溫1500℃,2h)

本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時(shí)顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。上海哪家的網(wǎng)帶爐比較好?

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電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機(jī)械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的可選擇配件(需另外收費(fèi),訂購時(shí)請注意)。1.可編程液晶控制器,可實(shí)現(xiàn)升溫速率可調(diào)和保溫時(shí)間可調(diào)。2.單獨(dú)限溫控制器,可實(shí)現(xiàn)在主控制器失靈后設(shè)備升溫過高的情況下立即切斷加熱。3.無紙記錄儀,通過USB接口將其記錄的數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)可供分析、打印等,是有紙記錄儀的更新?lián)Q代產(chǎn)品,相當(dāng)多八通道溫度記錄。4.配RS-485接口,可連接計(jì)算機(jī)和記錄儀,實(shí)現(xiàn)時(shí)時(shí)***工作狀態(tài)。5.溫度測試孔,可實(shí)現(xiàn)不同測試線或儀器插入設(shè)備工作室內(nèi)進(jìn)行各種實(shí)驗(yàn),測試孔孔徑有φ25、φ50、φ80可選。6.載物托架,烘箱設(shè)備標(biāo)配是2個(gè)載物托架,客戶可根據(jù)自身需求增配托架數(shù)量。合肥真萍告訴您網(wǎng)帶爐的運(yùn)用方式。烘干網(wǎng)帶爐維修

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