下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設計。一、產品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體，爐內抽真空，被處理工件放置在爐膛內，采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗（清洗氣體：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂層石墨盤或石英盤）上的氮化鎵和氮化鋁等，可達到有效清潔處理，提高制品質量的目的。二、設計特點1.后門設計熱風電機2.降溫時風機開啟，同時兩端降溫封頭開啟，爐膛內產生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換，達到快速降溫的目的氣氛爐生產廠家哪家好？合肥真萍科技告訴您。熱風排膠氣氛爐廠家直供

密封性為了控制爐內的氣氛，維持爐內的壓力，爐內工作空間始終要與外界空氣隔絕，盡量避免漏氣和吸入空氣，故要求爐殼，砌體，爐門及所有外界連接零件如風扇，熱電偶，輻射管，推拉料機等采用密封裝置；加熱方法為了保證氣氛的穩(wěn)定性，氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種，馬弗爐的火焰在馬弗外，工件在馬弗內進行間接加熱；無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管，將火焰或者電熱體與爐氣隔開，以免破環(huán)爐內氣氛的穩(wěn)定。防爆裝置還原氣體和空氣混合達到一定混合比，在一定溫度下易引起，故對爐子的前，后室，淬火室以及緩冷室等均設有防爆裝置，爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。熱風排膠氣氛爐廠家直供氣氛爐對如今市場的影響。

各種氣氛爐的密封性要求高，裝，出料操作過程復雜，要求一臺爐子多用，大批量生產時，多組成大型聯(lián)合熱處理或者兩用以上的機組，因而要求有較高的機械化，自動化程度，為了保證氣氛的穩(wěn)定性，氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種，馬弗爐的火焰在馬弗外，工件在馬弗內進行間接加熱；無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管，將火焰或者電熱體與爐氣隔開，以免破環(huán)爐內氣氛的穩(wěn)定。還原氣體和空氣混合達到一定混合比，在一定溫度下易引起，故對爐子的前，后室，淬火室以及緩冷室等均設有防爆裝置，爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。

下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內膽尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架：2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍：溫度分辨率：0.1℃溫度波動度：0.5℃4.真空泵：油泵或無油真空泵。真空度：133pa，5.加熱方式：腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板（防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態(tài)）6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片；6寸晶圓片；8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間（正常工藝在50分鐘-120分鐘（按產品所需而定烘烤時間），為正常工作周期不含降溫時間（因降溫時間為常規(guī)降溫）。氣氛爐的原材料要求是什么？合肥真萍科技告訴您。

真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造的，被廣泛應用于電子液晶顯示，LCD,CMOS,IC，醫(yī)藥實驗室等生產及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的技術指標。1.無塵等級：Class100：（符合FED-STD209E標準：0.3um≤300個0.5≤100個）2.溫度范圍：+60℃~+250℃（極限溫度350℃）3.溫度均勻性：±2℃（空箱測試）4.溫度精確度：±1℃（空箱測試）5.設備型號規(guī)格:450*450*450；450*600*450；600*800*600；600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;合肥真萍科技為您提供氣氛爐相關專業(yè)解答。揚州氣氛爐供應商家

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連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐，是指連續(xù)地或間歇地裝料，工件在爐內不斷移動，完成加熱、保溫，有時包括冷卻在內全過程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機械機構連續(xù)地或間歇地進行裝料和出料，連續(xù)順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產品質量，提高勞動生產率和改善勞動條件。下面為大家介紹一下連續(xù)爐的產品材質和產品特點。一、產品材質1.外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼；2.保護裝置定時報警斷電裝置、超溫斷電、漏電保護斷路器、電機過載保護。二、產品特點1.雙邊配有鏈條傳動，解決傳送過程中跑偏的現(xiàn)象；2.烘箱分段式加熱，單獨電箱控制，方便操作，結構主要由輸送機系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成，多段單獨；3.PID溫度控制，爐內溫度均勻；4.輸送速度變頻調速，調節(jié)自如，運行平穩(wěn)，產能高；5.每段單獨箱體設置廢氣排放接口，可外接到車間外面，避免車間廢氣污染。熱風排膠氣氛爐廠家直供

合肥真萍電子科技有限公司，是安徽旭騰微電子設備有限公司全資子公司，總部位于合肥經(jīng)開區(qū)天都路4345號真萍科技產業(yè)園，是一家專注于熱（+30～1600℃）、真空（1～1*10-6torr）、高壓(10MPa)等設備的半導體裝備行業(yè)技術企業(yè)。技術團隊主要由一批多年從事熱工、流體、結構、半導體等行業(yè)的專業(yè)工程技術人員組成，現(xiàn)有研發(fā)人員40余人，均為本科及以上學歷。通過ISO9001質量體系認證。目前，自有廠房面積約32000平米，潔凈車間約2000平米，是具有設計、制造、銷售及售后服務能力的綜合性企業(yè)。2022年，引入戰(zhàn)略投資公司入股真萍科技母公司安徽旭騰微電子設備有限公司，融資融智，加速推進公司產品技術研發(fā)進程，助力完善半導體裝備產業(yè)鏈拼圖。初創(chuàng)期設備從以單機、自動化程度不高的加熱/真空高潔凈度的半導體設備為基礎，不斷向高集成自動化、滿足復雜制成工藝的立式爐、真空焊接爐發(fā)展，現(xiàn)已成為多家**研究中心以及集成電路生產優(yōu)先專業(yè)設備供應商。