半導體（semiconductor）指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在集成電路、消費電子、通信系統(tǒng)、光伏發(fā)電、照明、大功率電源轉換等領域都有應用，如二極管就是采用半導體制作的器件。無論從科技或是經濟發(fā)展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數(shù)字錄音機當中的中心單元都和半導體有著極為密切的關聯(lián)。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，硅是各種半導體材料應用中很具有影響力的一種。表面硅MEMS加工工藝成熟，與IC工藝兼容性好。北京新結構半導體器件加工平臺
半導體分類及性能：本征半導體：不含雜質且無晶格缺陷的半導體稱為本征半導體。在極低溫度下，半導體的價帶是滿帶，受到熱激發(fā)后，價帶中的部分電子會越過禁帶進入能量較高的空帶，空帶中存在電子后成為導帶，價帶中缺少一個電子后形成一個帶正電的空位，稱為空穴?？昭▽щ姴⒉皇菍嶋H運動，而是一種等效。電子導電時等電量的空穴會沿其反方向運動。它們在外電場作用下產生定向運動而形成宏觀電流，分別稱為電子導電和空穴導電。這種由于電子-空穴對的產生而形成的混合型導電稱為本征導電。導帶中的電子會落入空穴，電子-空穴對消失，稱為復合。復合時釋放出的能量變成電磁輻射（發(fā)光）或晶格的熱振動能量（發(fā)熱）。在一定溫度下，電子-空穴對的產生和復合同時存在并達到動態(tài)平衡，此時半導體具有一定的載流子密度，從而具有一定的電阻率。溫度升高時，將產生更多的電子-空穴對，載流子密度增加，電阻率減小。無晶格缺陷的純凈半導體的電阻率較大，實際應用不多。5G半導體器件加工價格刻蝕還可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。
隨著科技的不斷進步和市場需求的不斷變化，半導體器件加工也在不斷發(fā)展和創(chuàng)新。未來發(fā)展方向主要包括以下幾個方面：小型化和高集成度：隨著科技的進步，人們對電子產品的要求越來越高，希望能夠實現(xiàn)更小、更輕、更高性能的產品。因此，半導體器件加工的未來發(fā)展方向之一是實現(xiàn)更小型化和更高集成度。這需要在制造過程中使用更先進的工藝和設備，如納米級光刻技術、納米級薄膜沉積技術等，以實現(xiàn)更高的分辨率和更高的集成度。綠色制造：隨著環(huán)境保護意識的提高，人們對半導體器件加工的環(huán)境影響也越來越關注。未來的半導體器件加工將會更加注重綠色制造，包括減少對環(huán)境的污染、提高能源利用率、降低廢棄物的產生等。這需要在制造過程中使用更環(huán)保的材料和工藝，同時也需要改進設備和工藝的能源效率。
半導體技術的演進，除了改善性能如速度、能量的消耗與可靠性外，另一重點就是降低其制作成本。降低成本的方式，除了改良制作方法，包括制作流程與采用的設備外，如果能在硅芯片的單位面積內產出更多的 IC，成本也會下降。所以半導體技術的一個非常重要的發(fā)展趨勢，就是把晶體管微小化。當然組件的微小化會伴隨著性能的改變，但很幸運的，這種演進會使 IC 大部分的特性變好，只有少數(shù)變差，而這些就需要利用其它技術來彌補了。半導體制程有點像是蓋房子，分成很多層，由下而上逐層依藍圖布局迭積而成，每一層各有不同的材料與功能。在熱處理的過程中，晶圓上沒有增加或減去任何物質，另外會有一些污染物和水汽從晶圓上蒸發(fā)。
刻蝕在半導體器件加工中的作用主要有以下幾個方面：納米結構制備：刻蝕可以制備納米結構，如納米線、納米孔等。納米結構具有特殊的物理和化學性質，可以應用于傳感器、光學器件、能量存儲等領域。 表面處理：刻蝕可以改變材料表面的性質，如增加表面粗糙度、改變表面能等。表面處理可以改善材料的附著性、潤濕性等性能，提高器件的性能。深刻蝕：刻蝕可以實現(xiàn)深刻蝕，即在材料表面形成深度較大的結構。深刻蝕常用于制備微機械系統(tǒng)（MEMS）器件、微流控芯片等。干法刻蝕優(yōu)點是：各向異性好，選擇比高，可控性、靈活性、重復性好，細線條操作安全。北京新結構半導體器件加工平臺
半導體器件加工要考慮器件的尺寸和形狀的控制。北京新結構半導體器件加工平臺
物質存在的形式多種多樣，固體、液體、氣體、等離子體等等。我們通常把導電性差的材料，如煤、人工晶體、琥珀、陶瓷等稱為絕緣體。而把導電性比較好的金屬如金、銀、銅、鐵、錫、鋁等稱為導體?？梢院唵蔚陌呀橛趯w和絕緣體之間的材料稱為半導體。與導體和絕緣體相比，半導體材料的發(fā)現(xiàn)是很晚的，直到20世紀30年代，當材料的提純技術改進以后，半導體的存在才真正被學術界認可。半導體是指在常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體是指一種導電性可控，范圍從絕緣體到導體之間的材料。從科學技術和經濟發(fā)展的角度 來看，半導體影響著人們的日常工作生活，直到20世紀30年代這一材料才被學術界所認可。北京新結構半導體器件加工平臺
