真空鍍膜:PVD技術工藝步驟:清洗工件:接通直流電源,氬氣進行輝光放電為氬離子,氬離子轟擊工件表面,工件表層粒子和臟物被轟濺拋出;鍍料的氣化:即通入交流電后,使鍍料蒸發(fā)氣化。鍍料離子的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經(jīng)過碰撞以及高壓電場后,高速沖向工件;鍍料原子、分子或離子在基體上沉積:工件表面上的蒸發(fā)料離子超過濺失離子的數(shù)量時,則逐漸堆積形成一層牢固粘附于工件表面的鍍層。離子鍍時,蒸發(fā)料粒子電離后具有三千到五千電子伏特的動能,高速轟擊工件時,不但沉積速度快,而且能夠穿透工件表面,形成一種注入基體很深的擴散層,離子鍍的界面擴散深度可達四至五微米,也就是說比普通真空鍍膜的擴散深度要深幾十倍,甚至上百倍,因而彼此粘附得特別牢。真空鍍膜有離子鍍形式。蚌埠真空鍍膜涂料
電子束蒸發(fā)是基于鎢絲的蒸發(fā)。大約 5 到 10 kV 的電流通過鎢絲(位于沉積區(qū)域外以避免污染)并將其加熱到發(fā)生電子熱離子發(fā)射的點。使用永磁體或電磁體將電子聚焦并導向蒸發(fā)材料(放置在坩堝中)。在電子束撞擊蒸發(fā)丸表面的過程中,其動能轉化為熱量,釋放出高能量(每平方英寸數(shù)百萬瓦以上)。因此,容納蒸發(fā)材料的爐床必須水冷以避免熔化。電子束蒸發(fā)設備結構簡單,成本低廉,而且可以蒸發(fā)高熔點材料,在蒸鍍合金時可以實現(xiàn)快速蒸發(fā),避免合金的分餾,其鍍膜質量也可以達到較高水平,可以廣泛應用于激光器腔面鍍膜以及玻璃等各種光學材料表面鍍膜,是一種可易于實現(xiàn)大批量生產(chǎn)的成熟鍍膜技術。貴州低壓氣相沉積真空鍍膜真空鍍膜機壓鑄技術用于生產(chǎn)鋁、鎂、鋅、銅基合金鑄件,在機械制造行業(yè)應用已有多年的歷史。
所謂的原子層沉積技術,是指通過將氣相前驅體交替脈沖通入反應室并在沉積基體表面發(fā)生氣固相化學吸附反應形成薄膜的一種方法。原子層沉積(ALD)是一種在氣相中使用連續(xù)化學反應的薄膜形成技術?;瘜W氣相沉積:1個是分類的(CVD的化學氣相沉積)。在許多情況下,ALD是使用兩種稱為前體的化學物質執(zhí)行的。每種前體以連續(xù)和自我控制的方式與物體表面反應。通過依次重復對每個前體的曝光來逐漸形成薄膜。ALD是半導體器件制造中的重要過程,部分設備也可用于納米材料合成。
真空鍍膜:可鍍材料普遍:離子鍍由于是利用高能離子轟擊工件表面,使大量的電能在工件表面轉換成熱能,從而促進了表層組織的擴散作用和化學反應。然而,整個工件,特別是工件心部并未受到高溫的影響。因此這種鍍膜工藝的應用范圍較廣,受到的局限性則較小。通常,各種金屬、合金以及某些合成材料、絕緣材料、熱敏材料和高熔點材料等均可鍍復。即可在金屬工件上鍍非金屬或金屬,也可在非金屬上鍍金屬或非金屬,甚至可鍍塑料、橡膠、石英、陶瓷等。真空鍍膜是以真空技術為基礎,利用物理或化學方法,為科學研究和實際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝。
在二極濺射中增加一個平行于靶表面的封閉磁場,借助于靶表面上形成的正交電磁場,把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域來增強電離效率,增加離子密度和能量,從而實現(xiàn)高速率濺射的過程。隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠離靶表面,并在電場E的作用下沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。磁控濺射是入射粒子和靶的碰撞過程。入射粒子在靶中經(jīng)歷復雜的散射過程,和靶原子碰撞,把部分動量傳給靶原子,此靶原子又和其他靶原子碰撞,形成級聯(lián)過程。在這種級聯(lián)過程中某些表面附近的靶原子獲得向外運動的足夠動量,離開靶被濺射出來。真空鍍膜技術有真空束流沉積鍍膜。湖南真空鍍膜工藝
真空鍍膜中離子鍍的鍍層無小孔。蚌埠真空鍍膜涂料
真空鍍膜:真空涂層技術發(fā)展到了現(xiàn)在還出現(xiàn)了PCVD(物理化學氣相沉積)、MT-CVD(中溫化學氣相沉積)等新技術,各種涂層設備、各種涂層工藝層出不窮。目前較為成熟的PVD方法主要有多弧鍍與磁控濺射鍍兩種方式。多弧鍍設備結構簡單,容易操作。多弧鍍的不足之處是,在用傳統(tǒng)的DC電源做低溫涂層條件下,當涂層厚度達到0。3um時,沉積率與反射率接近,成膜變得非常困難。而且,薄膜表面開始變朦。多弧鍍另一個不足之處是,由于金屬是熔后蒸發(fā),因此沉積顆粒較大,致密度低,耐磨性比磁控濺射法成膜差。可見,多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有優(yōu)劣,為了盡可能地發(fā)揮它們各自的優(yōu)越性,實現(xiàn)互補,將多弧技術與磁控技術合而為一的涂層機應運而生。在工藝上出現(xiàn)了多弧鍍打底,然后利用磁控濺射法增厚涂層,較后再利用多弧鍍達到較終穩(wěn)定的表面涂層顏色的新方法。蚌埠真空鍍膜涂料